Cтраница 5
![]() |
Макронеоднородность монокристалла кремния, выращенного бестигельной зоннбй плавкой по направлению ( продольное сечение. анодное травление. [61] |
С уменьшением кривизны фронта кристаллизации увеличивается ширина центрального ( стержневого) канала и уменьшается диаметр трубчатого канала. Резкое изменение фронта кристаллизации может привести к исчезновению канала. В области канала фронт кристаллизации плоский. [62]
При быстром перемещении фронта кристаллизации возможна такая ситуация, что температура в области фронта станет ниже температуры кристаллизации расплава. [63]
![]() |
Участки диаграммы фазового равновесия в области малых концентраций. а - при а1. б - при а1. / - линия ликвидуса. 2 - линия солидуса. [64] |
При направленном перемещении фронта кристаллизации происходит перераспределение компонентов между фазами, эффективность которого в значительной степени определяется коэффициентом распределения компонентов между жидкой и твердой фазами. При этом различают равновесный а и эффективный Оэф коэффициенты распределения. [65]
![]() |
Распределение примеси в начальной стадии направленной кристаллизации при диффузионном переносе. [66] |
По мере продвижения фронта кристаллизации вдоль образца концентрация примеси в этом слое ас, жидкости постепенно увеличивается. Одновременно наблюдается также постепенное увеличение ее концентрации в твердой фазе, образу - сг ющейся уже из жидкой фазы более высокой концентрации. Такое увеличение концентрации примеси в обеих фазах наблюдается до тех пор, пока не установится стационарный режим. По достижении стационарного режима концентрация твердой фазы на границе с жидкой становится равной исходной концентрации СР. [67]
Положение любой точки фронта кристаллизации определяется расстоянием от начала слитка 1 ( тг) и высотой TJ. [68]