Восстановление - тетрахлорид
Cтраница 2
 |
Схема установки для осаждения эпитаксиаль. [16] |
Эпитаксиальные пленки кремния осаждают на подложку методом восстановления тетрахлорида или трихлорсилана кремния водородом. [17]
На примере получения эпитаксиальных пленок германия методом восстановления тетрахлорида германия водородом показано влияние основных параметров химического осаждения ( состава газовой смеси, температуры подложки, концентрации легирующих примесей в газовой фазе) на плотность дислокаций и другие свойства пленок. [18]
Эффективность разделения в значительной мере зависит от полноты восстановления тетрахлорида, увеличивающейся с повышением температуры. Однако при этом одновременно возрастает и скорость диспропорционирования трихлорида, вследствие чего разделение элементов ухудшается. Более успешно разделение происходит при возможно низких температурах восстановления ZrCl4, когда еще ZrCl3 не разлагается. В связи с этим, по-видимому, перспективны работы по изысканию восстановителей, позволяющих вести процесс при температурах до 450 С. [19]
 |
Температурная зависимость давления пара SiCl ( 1, РС13 ( 2, ВВг3 ( 3. [20] |
В целом ориентационная зависимость скорости роста обусловлена обратимостью реакции восстановления тетрахлорида кремния водородом. [21]
 |
Реактор для получения титана ( Юниои. [22] |
Титан, гафний и цирконий получают по способу Кроля восстановлением тетрахлоридов этих металлов расплавленным магнием. Уран и бериллий восстанавливают магнием из их фторидов. [23]
Таким образом, результаты исследования процесса получения пленок германия восстановлением тетрахлорида германия водородом позволяют сделать вывод о том, что для снижения содержания примесей в осаждаемом материале следует осуществлять процесс при условиях, соответствующих получению пленок с минимумом дефектов кристаллической структуры. [24]
Металлический титан был впервые получен в 1910 г. [20] путем восстановления тетрахлорида натрием. [25]
Сравнение трифторида титана с трихлоридом, который легко образуется при восстановлении тетрахлорида водородом при 700, показывает, что оба галогенида являются кристаллическими твердыми веществами, обладают низкой летучестью и растворимы в воде. [26]
Рабочие и мастера, занятые в цехах ( отделениях и участках) восстановления тетрахлорида и сепарации металла в производстве металлического титана. [27]
Недавно удалось получить торий более высокой степени чистоты по новым вариантам процесса восстановления тетрахлорида тория щелочным металлом. В работе Блока [77] приведено краткое описание метода восстановления тетрахлорида тория металлическим натрием в атмосфере гелия. В результате восстановления получают губчатый торий, переплавляемым затем в слиток. [28]
Дихлорид полония получается при разложении тетрахлорида в вакууме при 200 С или восстановлением тетрахлорида при 150 - 200 С водородом, сероводородом или окисью углерода. При длительном восстановлении процесс идет до образования элементарного полония. [29]
Химико-металлургический - объединяет химические и пироме-таллургические процессы, например, титан получают восстановлением тетрахлорида TiCU магнием и последующей плавкой в электродуговых печах. [30]
Страницы: 1 2 3 4