Cтраница 4
Природа растворителя оказывает исключительно сильное влияние на процесс формирования пленки фоторезиста. Наиболее широко распространенным методом формирования пленки фоторезиста является метод центрифугирования. Данный метод состоит из двух этапов: нанесения на подложку определенной дозы светочувствительного раствора и получения необходимой толщины пленки за счет вращения ротора центрифуги с заданной скоростью. В некоторых случаях при формировании пленок фоторезистов наблюдается плохое смачивание ими поверхности подложек. Это явление устраняется механическим распределением фоторезиста по всей поверхности подложек, что обусловливает, однако, повышенную неравномерность формируемых пленок по толщине и увеличивает их загрязненность. [46]
Характерным примером периодического процесса центрифугирования является центробежный отжим сахарного утфеля в подвесных центрифугах. Утфель загружается в ротор центрифуги при его медленном вращении. Затем вращение ротора доводится до наибольшей скорости. При постоянной скорости вращения ротора центрифуги производятся центрифугирование и промывка продукта. Наконец, ротор затормаживают, останавливают, после чего из ротора выгружается сахар. Затем производственный цикл повторяется снова. [47]
![]() |
Осредненная кривая капиллярное давле.| К построению зависимости капиллярное давление - водонасыщенность. [48] |
Быстро и просто остаточная водонасыщенность определяется методом центрифугирования. Образец, насыщенный водой, помещается в центрифугу и подвергается действию центробежных сил, под влиянием которых вода выбрасывается в градуированную ловушку. Вытеснению воды из породы препятствуют капиллярные силы. Вначале с увеличением частоты вращения ротора центрифуги жидкость вытесняется из крупных пор, когда перепад давления Ар на торцах образца превысит капиллярное давление в менисках. При дальнейшем увеличении частоты вращения ротора жидкость вытесняется и из пор меньшего размера. С некоторого момента повышение частоты вращения ротора центрифуги перестает влиять на количество остающихся в порах воды. [49]
Значительные трудности представляет центрифугирование масел, применяемых в качестве рабочих жидкостей для авиационных гидравлических систем. Эту операцию проводят на наземных стендах, и в большинстве случаев ее нужно осуществлять за один проход жидкости через центрифугу. Очистка гидравлических масел с тонкостью 5 мкм за один проход потребовала использовать для вращения ротора центрифуги активный привод, в качестве которого наиболее часто служат гидравлический, электрический двигатель или пневмотурбина. [50]
![]() |
Общий вид каскада центрифуг в Алмело. [51] |
Для обеспечения проектной мощности на демонстрационном заводе устанавливается от 60 000 до 75 000 центрифуг, обеспечивающих каждая при годовом коэффициенте использования мощности, равном 0 99, разделительную работу от 2 7 до 3 25 ЕРР в год. Ресурс работы-10 лет, после чего центрифуги заменяются более совершенными. Из общей потребляемой электрической мощности завода 10 МВт 60 % идет на приводы вспомогательных систем, на освещение и другие нужды, а 40 % - непосредственно на вращение роторов центрифуг. [52]
После регулировки клапанов проверяют герметичность ротора центрифуги. Разгрузочным вентилем ( при закрытом магистральном) поднимают давление до 0 7 МПа и, удерживая ротор от проворачивания, смотрят за подтеканием масла. Течь масла из-под крышки ( стакана) ротора и его верхнего уплотнения недопустима. Допускается просачивание масла сквозь зазоры в подшипниках, резьбовое соединение гайки и корпуса ротора. МПа ( для всех тракторных двигателей) измеряют при помощи вибрационного прибора КИ-1308В частоту вращения ротора центрифуги. Она должна быть не менее 5500 мин - для двигателей тракторов типа МТЗ, ЮМЗ, а также Д-37, Д-21 и 5200 мин - для двигателей СМД всех модификаций. [53]
При этом ухудшается фильтрация масла в центрифуге. В случае неисправности перепускного клапана в магистраль двигателя направляется неочищенное масло, которое выбывает повышенный износ деталей двигателя. Интенсивное изнашивание двигателя происходит также при сильном загрязнении или неисправности масляных фильтров. Следовательно, в смазочной системе двигателя нужно периодически проверять правильность показаний масляного манометра и термометра, производительность масляного насоса, давление открытия клапанов, частоту вращения ротора центрифуги и состояние фильтрующих элементов очистки масла. [54]