Выход - кремний
Cтраница 1
Выход кремния повышается, если магний и двуокись кремния берут в теоретически необходимом количестве. После очистки продукта реакции соляной кислотой он содержит небольшое количество магния и двуокиси кремния. Очистка в плавиковой и серной кислотах дает чистый продукт. [1]
Выход кремния повышается, если магний и оксид кремния ( IV) берут в теоретически необходимом количестве. Очистка в плавиковой и серной кислотах дает чистый продукт. [2]
 |
Искривление энергетических зон на границе раздела кремний - двуокись кремния, происходящее вследствие разности их работ выхода.| Зависимость порогового. [3] |
Поскольку работа выхода кремния больше работы выхода двуокиси кремния, искривление энергетических зон в кремнии всегда происходит так, что на его поверхности образуется канал л-типа. Величина потенциального барьера, возникающего на границе раздела, достаточна для того, чтобы ток между двумя областями отсутствовал. [4]
Экспериментально был получен выход кремния, близкий к термодинамически возможному. Чистота кремния, полученного в безэлектродном ВЧ-плаз-матроне, зависит только от чистоты реагентов. [5]
Экспериментально был получен выход кремния, близкий к термодинамически возможному. Чистота кремния, полученного в высокочастотном безэлектродном плазмотроне, зависит только от чистоты реагента. [6]
Поэтому наиболее эффективным средством повышения выхода кремния из трихлорсилана, одновременно снижающим расход высокочистого водорода, является проведение процесса водородного восстановления трихлорсилана в так называемом замкнутом цикле. Отходящая из реактора ПГС направляется в систему регенерации ( см. рис. 3.3, позиция 23), где из нее выделяют наиболее ценные продукты - водород и трихлорсилан. После очистки их возвращают в производство. Величина Мл в этом случае может быть снижена до 6 против 12 при работе в открытом цикле. [7]
Кроме того, установлено, что выход кремния зависит не только от температуры, как это было бы, если бы процесс соответствовал уравнениям (9.1) и (9.2), но и от состава паро-газовой смеси. В частности, выход кремния значительно уменьшается, когда молярное отношение Н2: SiCU снижается от 40: 1 до 10: 1, а при молярном отношении 5: 1 выделение кремния практически прекращается. Большое количество подобных данных приводит к выводу о том, что суммарные реакции (9.1) и (9.2) не отражают истинного протекания процесса, и поэтому их использование в термодинамических расчетах не может служить основой для его изучения. Хотя кинетика процесса восстановления играет большую роль в определении выхода реакции, отработка технологии должна основываться в первую очередь на изучении условий установления термодинамического равновесия в системе реагентов. Для проведения расчетов термодинамического равновесия в гетерогенной системе чистая кристаллическая фаза - парогазовая смесь реагентов следует в первую очередь установить, какие концентрации или парциальные давления являются определяющими и от каких независимых параметров они зависят. [8]
 |
Зависимость состава паровой фазы от состава исходной смеси С1 / Н при Г1450 К. [9] |
На рис. 9.5 приведен график, показывающий выход кремния ( в единицах Si / Cl) при различных значениях отношений С1 / Н и различных температурах. [10]
 |
Схема установки для восстановления кремния из тетрахлорида водородом. [11] |
Для полноты использования тетрахлорида и увеличения выхода кремния реакцию проводят при 50 - 60-кратном избытке водорода против стехиометрии. При восстановлении тетрахлорида водородом получается компактный кремний более высокой степени чистоты, чем при цинктермическом способе. [12]
Например, для п - Si, если работа выхода кремния больше работы выхода металла, электроны диффундируют в кремний, приводя к образованию обогащенного слоя. Накопленный заряд создает электрическое поле, направленное от металла в сторону полупроводника и тянущее электроны в сторону металла, уравновешивая таким образом диффузионный ток. [13]
Для р - Si эти рассуждения обратны, и вольт-амперная характеристика контакта будет нелинейной в случае, когда работа выхода металла меньше работы выхода кремния. [14]
Кроме того, установлено, что выход кремния зависит не только от температуры, как это было бы, если бы процесс соответствовал уравнениям (9.1) и (9.2), но и от состава паро-газовой смеси. В частности, выход кремния значительно уменьшается, когда молярное отношение Н2: SiCU снижается от 40: 1 до 10: 1, а при молярном отношении 5: 1 выделение кремния практически прекращается. Большое количество подобных данных приводит к выводу о том, что суммарные реакции (9.1) и (9.2) не отражают истинного протекания процесса, и поэтому их использование в термодинамических расчетах не может служить основой для его изучения. Хотя кинетика процесса восстановления играет большую роль в определении выхода реакции, отработка технологии должна основываться в первую очередь на изучении условий установления термодинамического равновесия в системе реагентов. Для проведения расчетов термодинамического равновесия в гетерогенной системе чистая кристаллическая фаза - парогазовая смесь реагентов следует в первую очередь установить, какие концентрации или парциальные давления являются определяющими и от каких независимых параметров они зависят. [15]
Страницы: 1 2 3