Выход - кремний
Cтраница 3
Базой диода является тонкий слой толщиной 1 - 1 5 мкм высокоомного полупроводника и-типа. Для обеспечения идеального контакта между металлом и полупроводником металл напыляют в вакууме на слой и-полупроводника. В качестве материала полупроводника чаще всего используют н - Si, а в качестве металла - А1, Аи, Мо и др. При э: ом исходят из того, что работа выхода металла должна быть боль-н е работы выхода кремния. Из-за отсутствия инжекции в базу пеоснов-нах носителей в ней не происходят процессы накопления и рассасывания зарядов. [31]
При небольших скоростях движение потока паро-газовой смеси строго ламинарное. Характерным для ламинарного потока является то, что перенос вещества паро-газовой смеси к поверхности осаждения происходит посредством молекулярной диффузии и термодиффузии, и скорость переноса реагентов определяется константой скорости диффузии. Наблюдаемая скорость реакции определяется поэтому с одной стороны скоростью переноса реагирующих веществ к поверхности, а с другой стороны кинетикой гетерогенной химической реакции, протекающей на этой поверхности. Учет кинетических факторов имеет особое значение при выращивании структурно совершенных эпитаксиальных пленок, где выход кремния является второстепенным фактором. [32]
В первый момент, когда реакция еще не началась, манометр 6-показывает давление больше атмосферного вследствие термического расширения газов в реакторе. Как только реактор разогреется, начинается бурная реакция, признаком чего является падение давления в приборе. В это время тетрахлорид кремния в колбе 3 нужно нагреть до кипения, чтобы поддерживать давление в приборе постоянным. Если прибор негерметичен, то при кратковременных понижениях давления в него может попасть воздух, и тогда выход кремния уменьшается. Однако при таком видоизменении методики работы очень трудно-поддерживать давление в реакторе на постоянном уровне: при кратковременных повышениях давления может произойти выбрасывание тетрахлорида кремния из трубки 6 наружу, а при понижении-засасывание его в реактор. Для того чтобы не произошло засасывания тетрахлорида кремния в реактор, манометрическая трубка 6 должна иметь диаметр 8 - 9 мм и высоту 15 - 20 см. Тетрахлорида следует наливать в нее не больше 5 - б мл. При понижении давления в приборе некоторое количество воздуха будет входить в реактор; это не вызовет особых осложнений в работе, но, как указано, снизит выход кремния. Реакция заканчивается в течение 15 - 20 мин. [33]
Около 14 - 12 тыс. лет назад климат на Земле резко изменился, преобразился животный и растительный мир, он приблизился к современному. Именно тогда искусные охотники с луком и стрелами прочно освоили территорию Южного Урала. Они охотились на зайцев, косуль, лосей, птиц и др. Одновременно наиболее гарантированной пищей для них была рыба, которая водилась в оставшихся после отступления ледника водоемах. Поэтому чаше всего мезолитические племена устраивались на их берегах, тем более, что они богаты и выходами кремния, яшмы, из которых изготавливались орудия труда. [34]
Таким образом, для получения пленок высокого структурного совершенства необходимы чистота поверхности и малая плотность дислокаций в монокристаллической подложке. Скорость роста пленок определяется выходом по кремнию комплекса реакций восстановления. Выход реакции, как отмечалось, зависит от состава паро-газовой смеси и температуры проведения процесса. Из графиков рис. 9.5 видно, что при многих значениях отношений С1 / Н выделение кремния понижается при температуре порядка 900 С. При повышении температуры выход кремния сперва резко возрастает, а затем мало от нее зависит. Соотношения концентраций продуктов реакции при этом все время изменяются. Поэтому неравномерности скорости роста пленки могут иметь место: а) при колебаниях скорости протока, б) при колебаниях состава исходной смеси, в) при колебаниях средней температуры на поверхности подложки, г) при неравномерном нагреве подложки. [35]
 |
Энергетическая диаграмма структуры AI - Si02 - Si. a - перед взаимным контактированием, б - в состоянии теплового равновесия. Цифры даны в эВ. Параметры Si. р-тип, Лга 2 - 1015 см-3. [36] |
На рис. б изображена энергетическая диаграмма структуры в состоянии теплового равновесия. Показаны работа выхода алюминия ( разница между уровнем вакуума и уровнем Ферми), а также запрещенные зоны и энергии электронного сродства ( разности между уровнем вакуума и дном зон проводимости) для Si02 и кремния. Следует отметить, что работа выхода кремния зависит от его типа проводимости и концентрации носителей. Приведенная на рисунке величина работы выхода Si 5 0 эВ соответствует концентрации акцепторов 2 - Ю15 см-3. [37]
Размер зерен этих микрокристаллических осадков является часто ниже продельного разрешения оптических микроскопов. Микрофотографические данные всегда показывают однородность структуры и низкую степень однородности на поверхности относительно тонких слоев. Электронная микроскопия тонких протравленных слоев показывает высокую степень зависимости размеров зерен от температуры разложения. Методами рентгенографии и электронной дифракции установлено, что слои содержат карбид кремния в количествах, достаточных для измерения. Анализ образцов, полученных при температурах между 1000 и 1150 С, не показал различия между общим содержанием углерода и угле-родо. Это объясняется тем фактом, что и образование карбида кремния и выход кремния значительно увеличиваются в этом температурном интервале. [38]
В первый момент, когда реакция еще не началась, манометр 6-показывает давление больше атмосферного вследствие термического расширения газов в реакторе. Как только реактор разогреется, начинается бурная реакция, признаком чего является падение давления в приборе. В это время тетрахлорид кремния в колбе 3 нужно нагреть до кипения, чтобы поддерживать давление в приборе постоянным. Если прибор негерметичен, то при кратковременных понижениях давления в него может попасть воздух, и тогда выход кремния уменьшается. Однако при таком видоизменении методики работы очень трудно-поддерживать давление в реакторе на постоянном уровне: при кратковременных повышениях давления может произойти выбрасывание тетрахлорида кремния из трубки 6 наружу, а при понижении-засасывание его в реактор. Для того чтобы не произошло засасывания тетрахлорида кремния в реактор, манометрическая трубка 6 должна иметь диаметр 8 - 9 мм и высоту 15 - 20 см. Тетрахлорида следует наливать в нее не больше 5 - б мл. При понижении давления в приборе некоторое количество воздуха будет входить в реактор; это не вызовет особых осложнений в работе, но, как указано, снизит выход кремния. Реакция заканчивается в течение 15 - 20 мин. [39]
Страницы: 1 2 3