Cтраница 4
Теоретические разделы начинаются с краткого изложения элементарной теории электричества. Затем рассматриваются механизмы проводимости при постоянном и переменном токах, далее диэлектрическая проницаемость, температурный коэффициент емкости и пробой. Большинство из этих механизмов идентичны механизмам, используемым для описания поведения массивных образцов. При этом имеется различие, состоящее в том, что в массивном образце проводимость обычно ниже, поскольку мало вероятно, что проводящие каналы тянутся с одной стороны образца к другой. Кроме того, пленки часто оказываются достаточно тонкими для имеющих важное значение квантовых процессов. В массивном образце поля напряжения пробоя более низкие, потому что геометрия допускает больше механизмов пробоя. В общем, принимая во внимание геометрию исследуемых образцов, используемых для анализа свойств диэлектриков, можно применить один и тот же подход независимо от того, имеем ли мы дело с массивными монокристаллами или тонкими аморфными пленками. Данные для массивного материала приводились в других разделах. Вслед за теоретическими разделами приводится раздел, в котором дается описание различных практических областей применения тонких диэлектриков; перечисляются требования и устанавливается общий критерий для отбора подходящих материалов. Наконец, в данной главе обсуждаются достоинства и недостатки различных методов получения пленок. [46]