Тонкопленочный конденсатор

Cтраница 2

Конструирование тонкопленочных конденсаторов проще, чем резисторов, так как слои металлов и диэлектрика в процессе получения самопроизвольно образуют структуру с параллельными обкладками. [16]

Расчет тонкопленочных конденсаторов производят в такой последовательности. [17]

Характеристики тонкопленочного конденсатора, в первую очередь, определяются свойствами диэлектрической пленки. Однако в большинстве случаев выбранная геометрия тонкопленочного конденсатора так же оказывает влияние на точность и частотные характеристики, как и поляризационные свойства диэлектрика. В связи с этим ряд топологий конденсаторов, рассмотренных Берри и др. [130], будет кратко представлен в этом разделе. [18]

Электрическая ( а, топологическая ( б схемы и сборочный чертеж ( в тонкопленочной микросхемы. [19]

Максимальная емкость тонкопленочных конденсаторов достигает нескольких тысяч пи-кофарад. [20]

Несимметричная микрополосковая линия передачи. [21]

При изготовлении тонкопленочных конденсаторов во избежание электрического пробоя диэлектрика величина шероховатости подложки должна быть значительно меньше. В тех случаях, когда требуется особо гладкая поверхность подложки ( например, при более высоких частотах), применяют сапфир. [22]

При изготовлении тонкопленочных конденсаторов небезразлично, каким методом получены обкладки конденсаторов. Например, пленки SiO2 получают более гладкими ( с меньшими неровностями микрорельефа), если материал нижней обкладки получен катодным распылением, а не испарением в вакууме. [23]

В случае тонкопленочных конденсаторов выход определяется, главным образом, качеством изолирующей пленки. Как показано ранее, электрическая прочность большинства изолирующих пленок и отсюда напряжения пробоя тонкопленочных конденсаторов зависят от природы и плотности дефектных областей в диэлектрике. Так как пробой во время электрических испытаний обычно происходит в диэлектрической пленке по точечным дефектам, которые характеризуются большими токами утечки, выход годных конденсаторов может быть определен по результатам измерений юное утечки при испытательном напряжении, превышающем рабочее напряжение. [24]

Тонкопленочные конденсаторы. [25]

Максимальное напряжение тонкопленочного конденсатора определяется из условия t / max t / проб проб; температурный коэффициент емкости ( ТКС) конденсатора не превышает ( 3 - ь4) Х10 - 4 град 1 в диапазоне температур 20 - 85 С. [26]

Для получения тонкопленочного конденсатора нужного номинала важно обеспечить хороший контроль удельной емкости диэлектрического слоя. Так как конденсатор обычно состоит из трех слоев, точность площади перекрытия зависит от точности выполнения каждой обкладки и их совмещения. [27]

Влияние влаги на тонкопленочные конденсаторы проявляется в возрастании емкости, тангенса угла диэлектрических потерь, утечек в связи с изменением диэлектрических свойств материалов при сорбировании влаги и возникновении ионной проводимости в диэлектрике. [28]

Для изготовления обкладок тонкопленочных конденсаторов применяют алюминий А99 ( ГОСТ 11069 - 74) с подслоем титана или ванадия. [29]

Если металлические электроды тонкопленочного конденсатора достаточно тонки ( до 2500 - 3000 А), пробой не разрушает конденсатор, так как металлические обкладки выгорают в области диаметром порядка 50 мкм, а диэлектрик в значительно меньшей области. Такой пробой не катастрофичен, и конденсатор может быть использован. [30]

Страницы: 1 2 3 4 5