Cтраница 5
Окись алюминия, двуокись кремния ( АЬОз, ЗЮз) имеют ряд достоинств для использования в тонкопленочных конденсаторах. [61]
Из уравнения ( 7) очевидно, что р, d и соотношение размеров обкладок сильно влияют на характеристики тонкопленочных конденсаторов в области вы: оких частот. Например, в танталовых конденсаторах большое влияние на Re оказывается нижней обкладкой, выполняемой из тантала с р 20Э мкОм см. Так как для анодной пленки Та2О5 tg6 - 0 005, сопротивление обкладки в 1 Ом удвоит величину tg6 для конденсатора с емкостью 500 пф на частоте 1 МГц. Характеристики тонкопленочных конденсаторов в области высоких частот могут быть улучшены за счет выполнения обкладок из более толстых пленок металлов, имеющих меньшее удельное сопротивление. [62]