Ионный луч

Cтраница 4

Прослежены характерные пути распада метастабиль-ных ионов лактамов Се - - См методом дефокусировки основного ионного луча. На основе полученных результатов составлены схемы реакций фрагментации этих соединений под действием бомбардирующих электронов. [46]

Следовательно, при помощи управляемого электрического поля U или управляемого магнитного поля Н можно ионный луч любой массы раздельно направить на коллектор и измерить интенсивность его в виде пика ионного тока. [47]

Принципиальная схема масс-спектрометра. [48]

В масс-спектрометре любой конструкции основной частью является масс-анализатор, в котором происходит ионизация, формирование ионного луча, разделение его на составляющие ионные лучи, соответствующие строго определенным массам, и последовательное раздельное собирание ионных лучей на коллекторе. [49]

Наконец, имеется возможность управлять распределением примеси во всех трех измерениях путем изменения энергии ионов, применять сканирование ионного луча и защитные маски; возможность получать легированные слои под поверхностью, в объеме полупроводника ( скрытые распределения); точно дозировать примеси за счет изменения плотности ионного тока в пучке и времени облучения; вводить их через диэлектрические и металлические покрытия ( при соответствующем выборе режима); вводить примеси в количестве, превышающем равновесную концентрацию при температуре легирования. [50]

Больше четырех членов получается только в том случае, если рассматривать ионы, выходящие из точки, лежащей не на среднем ионном луче. [51]

В любой конструкции масс-спектрометра основной частью прибора является масс-анализатор, в котором происходит весь основной процесс анализа: ионизация, формирование ионного луча, разделение его на составляющие ионные лучи, соответствующие строго определенным массам, и последовательное раздельное собирание ионных лучей на коллекторе. [52]

С целью повышения стабильности при регистрации ионного пучка размер щелей приемника ионов делают несколько больше расчетного, чтобы при разного рода малых флуктуациях ионного луча соответствующая ему интенсивность практически оставалась постоянной. [53]

Принципиальная схема приемника ионов. [54]

Так как щели приемника находятся под потенциалом земли, а на антидинатронные пластины подается напряжение-180 в, во избежание посторонних эффектов ( например, раздвоение ионного луча) монтаж приемника следует производить тщательно. [55]

Страницы: 1 2 3 4