Материал - пленка
Cтраница 3
Итак, релаксация внутренних напряжений зависит от свойств материала пленки и времени после ее формирования, а также от свойств среды, воздействующих на пленку. [31]
Отсутствие рефлексов на электронограммах свидетельствует об аморфном состоянии материала пленок, но в отдельных случаях удается обнаружить в пленках частично закристаллизованные области. Анализ структуры дает основание считать, что осаждаемые фрагменты цепи обладают довольно слабой миграционной способностью, и процессы их агрегирования и рекомбинации протекают в основном при непосредственном контакте на подложке. Это значительно затрудняет упорядочение растущих макромолекул, но обеспечивает сравнительно хорошую сплошность получаемых покрытий. [32]
Уже отмечалось, что при катодном распылении состав материала пленки почти не отличается от состава мишени. Если же в камеру подавать реактивный газ, то становится возможным напылять соединения. Такое распыление называют реактивным и используют для осаждения главным образом окисных и нитридных пленок. [33]
 |
Поперечное сечение дорожки трения, возникающей. при скольжении ползуна по образцу.| Определение пропахивающего усилия по Боудену. / - пластина. 2 - образец. [34] |
Причина столь резкого различия между прочностью на сдвиг материала пленки и удельной силой трения при применении тонких граничных смазочных слоев состоит в следующем. [35]
Термические напряжения связаны с различием коэффициентов теплового расширения материала пленки и подложки. [36]
Принцип работы состоит в измерении величины отражения или пропускания материала пленки, осажденной на контрольном диске, который помещается в рабочее пространство вакуумного агрегата во время напыления пленки. [37]
Прочность по отношению к электронной бомбардировке зависит как от материала пленки, так и от природы и размеров нанесенного на нее объекта. При больших толщинах или большой поглощающей способности препарата за счет поглощения электронов возникают местные перегревы, которые могут привести к разрушению всей пленки. [38]
Плотность тока г на осадительном электроде зависит от диэлектрической проницаемости материала пленки. [39]
Следовательно, это поле сильно влияет на коэффициент вторичного распыления материала пленки. Предполагается, что бомбардируемая во время осаждения пленка окиси меди будет испускать в основном атомы кислорода, поскольку связь между атомами меди значительно сильнее, чем связь между атомами меди и кислорода. Измеряя скорости осаждения при различных приведенных полях и концентрациях кислорода, Перпи сумел построить трехмерные фазовые диаграммы для ряда окисных соединений, в том числе и для системы медь - кислород. [41]
Этому способствуют сконденсировавшиеся на поверхности анода пары испарившегося с катода материала пленки. [42]
 |
Внутренние напряжения в пленках, нанесенных на жесткие подложки. [43] |
Как уже указывалось, термические напряжения возникают из-за различия КТР материалов пленки и подложки. [44]
Условие (3.8) является более строгим, применимым при любых параметрах материала пленки. [45]
Страницы: 1 2 3 4