Испаряемый материал

Cтраница 1

Испаряемый материал обычно удерживается на проволочных испарителях силами адгезии, поэтому испаряемый материал в жидком состоянии должен хорошо смачивать материал испарителя. Однако при хорошем смачивании материала подогревателя испаряемым материалом всегда имеет место более или менее активное взаимодействие между этими веществами, что в конечном счете приводит к разрушению испарителя. Этим и объясняется относительная недолговечность проволочных испарителей. Большим недостатком этих испарителей является также то, что при помощи их очень трудно проводить испарение порошкообразных диэлектрических материалов. [1]

Нагревают испаряемые материалы испарителями прямого или косвенного подогрева. [2]

Если испаряемые материалы электропроводны, то конденсация их паров на поверхностях деталей, служащих электроизоляторами, делает их электропроводными, что приводит к короткому замыканию. [3]

Графитовый тигельный испаритель.| Тигель с индукционным нагревом. [4]

Из испаряемого материала делают стержень с резьбой, который ввинчивают по мере его расходования. Контролируемая подача обеспечивает равномерность испарения материала. [5]

Па, испаряемый материал начинают нагревать, что приводит к росту упругости его паров. На поверхности подложки происходит конденсация паров испаряемого материала и наращивание пленки. Поэтому обычно применяемые скорости испарения составляют ( 5 - т - 10) 10 - 10 м / с; например, при напылении пленки толщиной 1 мкм требуется время около 20 мин. Диэлектрик, испаряемый в вакууме, должен иметь невысокую температуру кипения, стойкость к термическому разложению, хорошую адгезию к электродам. В напыленной пленке не должно возникать больших внутренних напряжений, особенно растягивающих. Кроме того, пленка должна обладать достаточно высокими электроизоляционными свойствами. [6]

Испарители, испаряемый материал, подложки и подложкодер-жатели прогревают для уменьшения газовыделения при высоких температурах одновременно с работой системы откачки для создания рабочего вакуума. [7]

Агрегат фотолитографии.| Вакуумная установка. [8]

На испаритель навешивается испаряемый материал, и затем нить нагревается до высокой температуры пропусканием через нее электрического тока. Испарение тугоплавких металлов и некоторых диэлектриков производится электронным пучком, фокусируемым на поверхности образца испаряемого материала. [9]

Если все атомы испаряемого материала конденсируются на подложке, то количество испаренного материала в объеме сферы, ограничивающей пространство вокруг испарителя с радиусом, равным пролетному расстоянию, будет определяться количеством вещества, испаренным за время пролета расстояния от испарителя до подложки. [10]

Испарители и навески испаряемого материала перед использованием их в вакуумной установке диффузионной металлизации в тлеющем разряде должны подвергаться очистке. В процессе очистки испарители и навески сначала обезжиривают, затем травят в водных растворах кислот и щелочей, а перед использованием их в технологическом процессе осуществляют отжиг в вакууме. [11]

При бомбардировке поверхности испаряемого материала пучком ускоренных электронов наблюдается явление вторичной электронной эмиссии, в результате которого имеют место потери энергии, обусловленные рассеянием электронов. [12]

При термическом вакуумном напылении испаряемые материалы нагревают прямым или косвенным путем: при прямом нагреве - непосредственно пропускаемым по нему током ( резистивный нагрев), индукционным способом или электронной бомбардировкой; при косвенном нагреве - теплопередачей от испарителя, причем нагрев испарителя может быть так же резистивным, индукционным или электронной бомбардировкой. [13]

Для образования надежного теплового контакта испаряемый материал должен хорошо смачивать материал подогревателя в расплавленном состоянии. [14]

Толщина наносимой пленки регулируется количеством испаряемого материала: и подбирается опытным путем по фарфоровому индикатору с нанесенной каплей вакуумного масла. На поверхности капли пленка не образуется, и по контрасту между белизной фарфора, видимого через каплю, и потемнением фарфора вокруг капли опытным путем можно качественно оценить толщину пленки. [15]

Страницы: 1 2 3 4