Испаряемый материал
Cтраница 3
 |
Шлюзовое загрузочное устройство. [31] |
На полированной штанге 1 имеется канавка 2 для загрузки испаряемого материала. [32]
Основное преимущество указанного метода состоит в Отсутствии теплового контакта испаряемого материала с элементами испарителя, что приводит к повышению чистоты напыляемой пленки. Основное ограничение: - невозможность испарения диэлектриков. [33]
Наиболее распространены водоох-лаждаемые тигли, которые позволяют избежать взаимодействия испаряемого материала с материалом испарителя, а также позволяют испарять самые тугоплавкие материалы. С помощью электронно-лучевого нагрева трудно осуществлять испарение диэлектрических материалов из-за накопления на испаряемом материале электрического заряда. Наличие заряженных частиц, в том числе и вторичных электронов, приводит к необходимости принятия мер предосторожности против - попадания их на подложку, что может привести к пробоям по поверхности подложки. [34]
ТОГО, что Отдельные атомы или молекулы покидают поверхность испаряемого материала и переходят в парообразное состояние. [35]
Испарители прямого подогрева работают на принципе пропускания тока непосредственно через испаряемый материал, взятый в виде проволоки или ленты. [36]
 |
Вакуумная система установки УВН-2-2М. [37] |
Экран заслонки сделан сменным, так как после перекрытия потока испаряемого материала осаждение металла происходит на экран и через некоторое время его необходимо снимать и очищать от напыленного металла или заменять другим. [38]
К недостатку метода следует отнести его малую эффективность из-за конденсации испаряемого материала на стенках вакуумной камеры. [39]
 |
Электронно-лучевой испаритель с испаряемым анодом. [40] |
Испарители, в которых ускоряющее поле прикладывается между катодом и испаряемым материалом, называются испарителями с испаряемым анодом. В другом типе испарителей используются электронные пушки с независимым анодом. Они имеют отдельный анод с отверстием, через которое электронный луч попадает в зону испарения. [41]
 |
Испарители с косвенным нагревом. [42] |
Материал тигля подбирают таким, чтобы отсутствовали химические реакции с испаряемым материалом. Необходимо также учитывать при выборе материала тигля температуру испарения. [43]
Испаряемый материал обычно удерживается на проволочных испарителях силами адгезии, поэтому испаряемый материал в жидком состоянии должен хорошо смачивать материал испарителя. Однако при хорошем смачивании материала подогревателя испаряемым материалом всегда имеет место более или менее активное взаимодействие между этими веществами, что в конечном счете приводит к разрушению испарителя. Этим и объясняется относительная недолговечность проволочных испарителей. Большим недостатком этих испарителей является также то, что при помощи их очень трудно проводить испарение порошкообразных диэлектрических материалов. [44]
Преимуществом испарителей прямого подогрева, кроме простоты, является повышенная чистота испаряемого материала; недостаток их - возможность испарения только проводящих материалов. [45]
Страницы: 1 2 3 4