Испаряемый материал

Cтраница 4

Преимуществом испарителей прямого подогрева, кроме простоты, является повышенная чистота испаряемого материала; недостаток их - возможность испарения только проводящих материалов. [46]

Метод термического испарения имеет разновидности, которые различаются по способу нагрева испаряемого материала. Наиболее простым является испарение с резистивного испарителя, который нагревает испаряемый материал за счет джоулевого тепла. Метод применяется для испарения материалов с температурой испарения до 2000 - 2200 С. Материал резистивного испарителя должен иметь температуру размягчения более высокую, чем температура испарения материала, не вступать с ним в химическую реакцию при высоких температурах. Испаряемый материал не должен диссоциировать при высоких температурах, сплавы и композиции должны иметь близкие друг к другу парциальные давления паров составных материалов при температуре испарения. [47]

Установки, использующие принцип испарения - конденсации, различаются способом ввода испаряемого материала; способом подвода энергии для испарения; рабочей средой; организацией процесса конденсации; системой сбора полученного порошка. [48]

Структура тонких пленок, полученных путем термовакуумного напыления, зависит от температуры испаряемого материала. С точки зрения влияния этого фактора, все металлы распределяются на три группы. [49]

Схема питания испарителей. [50]

Нагреватели испарителей выполнены, как правило, конструктивно совмещенными с емкостями для испаряемого материала, поэтому обладают очень малым омическим сопротивлением и для их питания приходится применять низкое напряжение при больших значениях тока. Это в свою очередь требует применения больших сечений проводов и коммутирующей аппаратуры, рассчитанной на большие токи. [51]

Скорость нанесения пленки определяют по двум величинам: скорости испарения, характеризующей поток испаряемого материала, и скорости осаждения, характеризующей рост пленки на подложке. [52]

Испарителями с непосредственным подогревом называются такие испарители, в которых ток пропускается непосредственно через испаряемый материал. Такой метод испарения может быть использован только для проволочных и ленточных материалов. [53]

Однако такие испарители обладают двумя существенными недостатками: малой скоростью испарения и большими потерями испаряемого материала. Насадка 2 из танталовой жести, надетая на верхнюю часть тигля, направляет струю пара в вертикальном направлении, отклоняя все макроскопические частицы в сторону. Эта насадка также нагревается электрическим током, подводимым от независимого источника к точкам А и В. [54]

Схема установки для термического напыления. [55]

Между испарителем и подложкой устанавливают заслонку 5, позволяющую в нужный момент прекращать нанесение испаряемого материала на подложку. [56]

Рассматривая эти устройства, следует особо отметить, что большая часть энергии выделяется вблизи поверхности испаряемого материала. Толщина скин-слоя d - l / V ffl, где ш - частота ВЧ-поля, ( см. гл. Поэтому равномерный нагрев большинства испаряемых металлов осуществляется эффективно на низких частотах, в то время как небольшие или тонкие тигли требуют очень высоких частот. Например, генераторы, работающие на частоте около 10 кГц, обеспечивают нагрев при загрузке металла весом около одного килограмма. [57]

Страницы: 1 2 3 4