Cтраница 4
Шероховатость поверхности напыляемого металла может увеличить трение в болтовых соединениях и, таким образом, уменьшить действие фретинг-коррозии. [46]
Напыляемый металл навешивают непосредственно на нагревательный элемент в виде согнутого кусочка проволоки или ленточки гусарика. При нагреве испарителя напыляемый металл начинает плавиться раньше, чем испаряться, поэтому раплавившиеся капли его стекают в нижнюю часть спирали или другого нагревающего устройства и концентрируются там. [47]
![]() |
Схема ионно-плазменной установки для напыления. [48] |
При этом способе напыления детали, на которые наносится покрытие, помещают в вакуумную камеру. В этой камере напыляемый металл за счет тепла электрической дуги переводится в плазменное состояние. Положительно заряженные ионы металлической плазмы перемещаются на поверхность деталей, которые являются катодом. В вакуумную камеру вводится реактивный газ ( азот), за счет взаимодействия которого с частицами металлической плазмы происходит улучшение свойств покрытия. [49]
В процессе плазменной обработки металлов возможно поступление в воздух аэрозолей и токсических газов. Аэрозоль обрабатываемых и напыляемых металлов поступает в воздух в результате конденсации паров металлов и отражения пылевых частиц от поверхности обрабатываемого изделия. Размер частиц в 60 - 70 % составляет 0 2 - 1 0 мкм. При напылении металлов в рабочей зоне могут создаваться концентрации аэрозоля трех-окиси алюминия, двуокиси циркония, вольфрама и его соединений, меди. [50]
В большинстве случаев катоды сделаны из титана, который в процессе распыления переносится на другие части насоса: анод, корпус насоса и даже на противоположный катод. Непрерывно возобновляемая пленка напыляемого металла сорбирует либо замуровывает молекулы газа, попавшие на ее поверхность. [51]
Только атомы, которые осели на изделии, сохранив свою исходную энергию, будут обладать требуемой адгезией. Температуры, при которых напыляемый металл переходит в парообразное состояние, не вызывают перегрева обрабатываемых изделий, которые из-за резко пониженной теплопередачи в условиях высокого вакуума почти не нагреваются; поэтому металлизировать в вакууме можно даже нетеплостойкие материалы. [52]
Сущность метода физического осаждения в вакууме состоит в том, что при высокой температуре в динамическом высоком вакууме происходит интенсивное испарение жидкого ( или твердого) металла, пары которого конденсируются на покрываемом изделии и холодных частях установки. При этом давление пара напыляемого металла должно быть таким, чтобы длина свободного пробега атомов его была больше расстояния между зоной испарения и зоной конденсации на подложке. [53]
Реактивное катодное распыление представляет процесс, в котором происходит вырывание атомов или частиц металлической мишени под действием бомбардировки ионами относительно высоких энергий в присутствии кислорода. Кислород реагирует с частицами напыляемого металла, образуя окислы. Сивклэром [68] таким способом были получены пленки из двуокиси кремния, окиси алюминия и из алюмосиликатов. [54]