Испаряемый металл

Cтраница 4

К недостаткам рассмотренного метода следует отнести необходимость предварительного нагрева деталей в вакууме, трудность получения равномерного покрытия на деталях сложной конфигурации, а также довольно большие и производительные потери испаряемого металла, происходящие не только на защищаемой поверхности, но и на стенках вакуумной камеры и вну-трикамерных устройствах. [46]

Схема проточной установки для исследования физической адсорбции. [47]

Катализатор в виде эпитаксиальной пленки, полученной напылением металла на плоскую или плоскопараллельную монокристаллическую подложку, обязательно следует переместить после напыления в отдельную реакционную камеру, так как невозможно осадить испаряемый металл только на подложку из монокристалла. В этих работах многое зависит от искусства экспериментатора. [48]

Молибденовый тиглевый испаритель с нагревателем из листового тантала, перфорированного а виде змейки. [49]

Если может быть, найден соответствующий тугоплавкий металл для тигля, то тигли из этого металла будут иметь преимущества перед тиглями из окислов металлов, в которых незначительное взаимодействие с расплавленным испаряемым металлом, а также испарение загрязнений из окислов иногда трудно заметить. Кроме того, металлические тигли могут изготавливаться различными по форме и размерам; они имеют лучшую теплопроводность и меньшую чувствительность к перепадам температуры, чем тигли, изготовленные из окислов металлов. Если вернуться к табл. 4, то легко заметить, что некоторые металлы можно испарять из молибденовых тиглей. Из приведенных трех тугоплавких металлов молибден наиболее дешев и механически обрабатывается значительно легче вольфрама. [50]

Другая конструкция испарителя, также предназначенного для испарения сублимирующихся материалов, показана на рис. 3 - 59Д Испаритель состоит из угольного анода 2 в форме диска с большим количеством маленьких отверстий, на которых удерживаются частицы испаряемого металла. При этом большинство электронов проходит сквозь отверстия в аноде и бомбардирует непосредственно частицы испаряемого металла. [51]

Для испарения металла можно пропускать электрический ток непосредственно через ленту или проволоку из испаряемого металла или же использовать в качестве нагревательного элемента проволоку или спираль из тугоплавкого металла ( вольфрам, молибден), на которой укрепляется кусок испаряемого металла. При нагреве металл, плавясь, превращается в каплю, которая затем постепенно испаряется. [52]

Для нагрева металла до температуры испарения из него либо делают спиральную проволоку и пропускают через нее электрический ток, либо заранее покрывают необходимым металлом проволоку из тугоплавкого металла, через которую и пропускают электрический ток, либо навешивают кусочки испаряемого Металла на тугоплавкую спираль, и тогда испаряемый металл в период плавления растекается по ней, или помещают испаряемый металл в корзиночку из тугоплавкой проволоки. Выбор метода зависит от испаряемого материала и конкретных требований к напыленному слою. [53]

Зависимость теплового потока, поглощенного подложкой при нанесении покрытий из иттрия, от температуры испарения. [56]

На рис. 9 показано три области: / - скорость конденсации мала, и основной вклад в разогрев подложки вносит теплоизлучение от испарителя ( теплотой конденсации можно пренебречь); / / - в диапазоне скоростей конденсации 5 - Ю 4 - 10 - 2 мкм / с энергия конденсации соизмерима с энергией излучения, и обе вносят значи-тельный вклад в разогрев подложки; / / / - при скоростях конденсации более 10 2 мкм / с теплоизлучением от испарителя можно пренебречь и считать, что подложка разогревается только за счет теплоты конденсации испаряемого металла. [57]

При небольших количествах испаряемого металла находят применение Y-образные, W-образные, волнообразные и спиральные испарители. Испаряемый металл в виде загнутых кусочков проволоки или полосок листового материала насаживается на подогреватель. [58]

При использовании этого способа металл испаряется в камере с высоким вакуумом, в котором размещены детали, подлежащие покрытию. Испаряемый металл конденсируется на поверхностях деталей в виде тонкого покрытия. [59]

Основные типы химического парофазного осаждения кремния. [60]

Страницы: 1 2 3 4 5