Метод - катодное распыление
Cтраница 1
Метод катодного распыления отличается от термнч. [2]
Метод катодного распыления позволяет получать пленки тугоплавких материалов, осуществлять перенос сложных по составу сплавов и смесей без нарушения процентного соотношения входящих в них компонентов. Адгезия пленок, полученных методом катодного распыления, обычно выше, чем при термовакуумном напылении. [3]
Метод катодного распыления основан на использовании характерного для тлеющего разряда явления - разрушения отрицательного электрода ( твердого вещества) в газовом разряде под действием ударов положительных ионов. [4]
Метод катодного распыления аналогичен методу напыления в высоком вакууме. При катодном распылении возникает электрический разряд в газе в результате приложения высокого напряжения, при этом проходящий ток распыляет металл катода. Часто напыление в высоком вакууме комбинируют с катодным распылением. [5]
 |
Схема установки для катодного распыления. [6] |
Метод катодного распыления мета л л а применяется в тех случаях, когда высокая температура кипения тугоплавкого металла не позволяет успешно применить метод испарения в вакууме. В вакуумной камере помещают катод из распыляемого металла и анод, соединяемый с положительным зажимом источника высокого напряжения порядка нескольких киловольт. [7]
Метод катодного распыления находит широкое применение в технике. Его используют при нанесении специальных покрытий для оптических и электрооптических приборов. В области электроники для контактов и электродов применяют пленки золота, серебра, платины; пленки тантала отличаются высокой стабильностью электросопротивления; нитрид тантала и некоторые пленки сплавов используют для конденсаторов. Пленки SiO2, полученные методом радиочастотного распыления, имеют лучшую стабильность и адгезию, чем полученные любым другим методом. Например, освоен метод нанесения хромовых и платино-хромовых покрытий на лезвия бритв из нержавеющей стали для увеличения срока их службы. В полностью автоматизированной установке одновременно покрывается 70 000 лезвий. Особенно перспективен этот метод для нанесения покрытий из тугоплавких материалов, которые трудно нанести термическим испарением в вакууме. [8]
Метод катодного распыления применяют для создания пленок из таких материалов, как тантал, титан, молибден, вольфрам, платина. [9]
 |
Свойства конденсатов GaSb. [10] |
Метод катодного распыления веществ для получения тонких пленок обладает одним существенным преимуществом перед испарением в вакууме. [11]
Методом катодного распыления получены аморфные пленки из магиитотвер - Дого сплава SmCo6 с магнитной энергией 120 кТл - А / м, которые могут найти применение для изготовления малогабаритных постоянных магнитов различного назначения. [12]
Методом катодного распыления получены аморфные пленки из магнитотвер-дого сплава SraCou с магнитной энергией 120 кТл - А / и, которые могут найти применение для изготовления малогабаритных постоянных магнитов различного назначения. [13]
Методом катодного распыления на стекло наносят обычно пленку из серебра или золота. [14]
Методом катодного распыления на стекло обычно накосят пленку из серебра или золота. [15]
Страницы: 1 2 3 4 5