Пороговое напряжение

Cтраница 5

Зависимости порогового напряжения на затворе V T и полевой подвижности iipg от толщины поликристаллической пленки кремния показаны на рис. 6.2.2. Из этих данных следует, что с увеличением толщины пленки VT уменьшается, a HFE возрастает. Этот результат является отражением того факта, что размер зерен поликристаллического кремния, нанесенного МЛО, возрастает с увеличением толщины пленки, как это отмечалось в предыдущем разделе. [61]

Зависимость VT ( Д и м / г / г ( б юлщины пленки У 31. до ( / и после ( 2 гидрогенизации. [62]

Зависимости порогового напряжения на затворе V T и полевой подвижности iipg от толщины поликристаллической пленки кремния показаны на рис. 6.2.2. Из этих данных следует, что с увеличением толщины пленки V т уменьшается, a HFE возрастает. Этот результат является отражением того факта, что размер зерен поликристаллического кремния, нанесенного МЛО, возрастает с увеличением толщины пленки, как это отмечалось в предыдущем разделе. [63]

Страницы: 1 2 3 4 5