Cтраница 3
Эффективную противокоррозионную защиту оборудования обеспечивают покрытия, для получения которых могут быть использованы основные методы нанесения покрытий в вакууме: катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Из них наиболее перспективным вследствие высокой эффективности защитного действия является метод ионного осаждения в вакууме. [31]
Инконгруэнтный характер испарения халькогенидов висмута и сурьмы может приводить к значительным изменениям состава и электрических свойств пленок на основе этих материалов во время термического напыления, если не принять специальные меры для стабилизации состава пленок ( см. разд. [32]
В электрофотографической практике применяются четыре основных способа нанесения селеновых покрытий на подложки: метод диспергирования 1 в связующем веществе, метод распыления, метод прессования и метод термического напыления в вакууме. [33]
Методы нанесения покрытий в условиях разрежения ( вакуума), в зависимости от особенностей, превращения материала покрытия в парообразное состояние с последующей конденсацией на защищаемой поверхности, часто называемой подложкой, можно разделить на три вида: катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Хотя настоящая книга целиком посвящена вопросу применения термического напыления в вакууме для нанесения защитных покрытий, целесообразно кратко рассмотреть и другие методы получения покрытий в вакууме, сравнив их достоинства и недостатки. [34]
Основные физические явления, происходящие на пути атомов, покинувших испаряемый металл, в процессе осаждения сводятся к следующему: 1) атом металла в результате столкновения с другим атомом металла либо инертного газа может вновь вернуться в тигель; 2) в отличие от обычного процесса термического напыления атомы, покинувшие испаритель, движутся не по прямолинейной траектории, а рассеиваются ( в результате многочисленных столкновений) по всем направлениям; 3) происходит ионизация части атомов испарившегося металла в результате столкновений с электронами, атомами и ионами плазмы; 4) при взаимных столкновениях атомов испарившегося металла может произойти их агломерация, образуются мелкие частички ( - 10 нм), которые заряжаются в плазме разряда. Поверхности подложки атомы металла достигают, обладая большой энергией, и могут проникать в подложку, обеспечивая тем самым высокую прочность сцепления покрытия с основой. [35]
Попытка количественного сравнения различных методов нанесения покрытий в вакууме предпринята авторами работы [245], причем в каждом из методов учтены их разновидности. Так, метод термического напыления рассмотрен с точки зрения резистивного метода нагрева испаряемого материала, электронно-лучевого и взрывного с непрерывной догрузкой тигля порошком испаряемого материала. В методе катодного распыления рассмотрены обычное высокочастотное распыление и высокочастотное распыление при наличии отрицательного потенциала на подложке. Метод ионного осаждения представлен процессами с применением плазмы, получаемой в разряде постоянного напряжения и в высокочастотном поле, причем каждая из этих разновидностей рассмотрена с точки зрения резистивного и электронно-лучевого испарителя. [36]
Одним из методов изготовления тонкопленочных конденсаторов является катодное распыление тантала для получения пленок толщиной 0 1 - 0 6 мкм с последующим анодированием для получения Та2О5 желаемой толщины. Верхний электрод получают термическим напылением в вакууме соответствующего металла, например золота, поверх анодированного слоя. Конденсаторы этого типа характеризуются малым током утечки, малым тангенсом угла диэлектрических потерь, высокой электрической прочностью, большой емкостью на единицу площади подложки. [37]
Технология производства работ по защите от коррозии зависит от вида покрытия: лакокрасочные, о чем кратко говорилось выше, металлические и метализационно-лакокрасочные. Металлические покрытия наносятся методом термического напыления. Термическое напыление осуществляется электро - или газоаппаратами. Малогабаритные конструкции защищаются способом горячего цинкования ( погружение детали или конструкции в расплавленный цинк) или алюминированием. Такие виды защиты проводятся по специальным руководствам отдельными службами, в состав которых входят как инженеры-строители металлисты, так и специалисты-химики. [38]
Заводская себестоимость термического напыления обычно высока по сравнению с покраской, хотя, если принимать во внимание срок службы, термическое1 напыление становится более экономичным процессом. Многие судостроительные верфи имеют собственные механизмы термического напыления, а другие заводы заключают субподряд на проведение термического покрытия. Термическое напыление может выполняться в цехе или на борту судна. [39]
Приведен обзор выполненных автором исследований по трению и износу высокопрочных сталей и титановых сплавов, многофазных легированных никелевых сплавов, сплавов на основе молибдена и кобальта, металлокерамических сплавов. Значительное внимание уделено методам нанесения покрытий термическим напылением в вакууме и электроискровым легированием рабочих поверхностей. Разработан способ нанесения многослойных покрытий с комплексом необходимых свойств. [40]
Методы нанесения покрытий в условиях разрежения ( вакуума), в зависимости от особенностей, превращения материала покрытия в парообразное состояние с последующей конденсацией на защищаемой поверхности, часто называемой подложкой, можно разделить на три вида: катодное распыление, термическое напыление и ионное осаждение. Хотя настоящая книга целиком посвящена вопросу применения термического напыления в вакууме для нанесения защитных покрытий, целесообразно кратко рассмотреть и другие методы получения покрытий в вакууме, сравнив их достоинства и недостатки. [41]
Собственные волоконные интерферометры Фабри-Перо СВИФП интерферометры изготавливаются нанесением отражающих зеркальных покрытий на оба торца волоконного световода. Кроме того, зеркала на торцах световодов могут изготавливаться методом термического напыления тонких слоев металлов ( Al, Ag, Au) на поверхность торцов. Для обеспечения максимальной устойчивости характеристик СВИФП в их конструкциях используют одномодовые волоконные световоды. [42]
Для определения толщины тонких пленок могут быть применены резистивный метод, метод микровзвешивания, оптический, радиочастотный и другие методы. Многие из них позволяют производить измерение толщины пленки в процессе термического напыления в вакууме и управлять режимами технологического процесса. [43]
Кириллов [78] обнаружил и подробно исследовал тонкую структуру в-спектре примесного поглощения галогенида серебра. Объектами исследования были пленки чистой соли, полученные вплавлением между кварцевыми пластинками или термическим напылением в вакууме, а также прозрачные слои мелкозернистых эмульсий липмановского типа. [44]
Для изучения трения материалов и покрытий, пригодных для изготовления деталей, работающих с трением при температурах до 700 С в вакууме ( 10 - 7 мм рт. ст.), были созданы лабораторные испытательные установки: ВУ-2 и ВУ-4 для торцевого трения втулочных образцов между собою и пальчиковых по вращающемуся диску; ВУ-5 для испытания цилиндрических и втулочных образцов на схватывание в вакууме 10 - 6 мм рт. ст. при неподвижном контакте и температурах до 800 С. Были также созданы установки ВУ-6 и ВУ-7 для нанесения металлических покрытий в вакууме методами термического напыления и электроискрового легирования рабочих поверхностей. [45]