Cтраница 1
Вакуумное напыление применяется для нанесения тонких покрытий, толщина которых колеблется от 0 01 до 0 5 мкм в случае нанесения благородных металлов ( серебро, золото, платина) и до. Игает 75 мкм в случае нанесения покрытий из кадмия, цинка, алюминия, меди или селена на небольшие цо размеру предметы. Покрываемый предмет, предварительно хорошо очищенный, подвешивается в камере над платиновым, вольфрамовым или молибденовым тиглем, который разогревается электрическим током до температуры кипения напыляемого металла. В тигель вводится напыляемый металл, затем после герметизации в камере создается вакуум и включается нагрев. Пары металла оседают на холодных поверхностях покрываемых предметов, образуя при этом тонкий, гладкий и плотный, хорошо сцепленный с основой слой, который лишен посторонних включений. Напыленные покрытия прекрасно проводят электрический ток, это обусловливает их применение в электронике. Благодаря хорошему блеску и другим декоративным эффектам такие покрытия используют в ювелирном деле. [1]
Вакуумное напыление применяется для нанесения тонких покрытий, толщина которых колеблется от 0 01 до 0 5 мкм в случае нанесения благородных металлов ( серебро, золото, платина) и достигает 75 мкм в случае нанесения покрытий из кадмия, цинка, алюминия, меди или селена на небольшие по-размеру предметы. Покрываемый предмет, предварительно хорошо очищенный, подвешивается в камере над платиновым, вольфрамовым или молибденовым тиглем, который разогревается электрическим током до температуры кипения напыляемого металла. В тигель вводится напыляемый металл, затем после герметизации в камере создается вакуум и включается нагрев. Пары металла оседают на холодных поверхностях покрываемых предметов, образуя при этом тонкий, гладкий и плотный, хорошо сцепленный с основой слой, который лишен посторонних включений. Напыленные покрытия прекрасно проводят электрический ток, это обусловливает их применение в электронике. Благодаря хорошему блеску и другим декоративным эффектам такие покрытия используют в ювелирном деле. [2]
Устройство для изготовления электрофотографических пластин методом распыления. [3] |
Вакуумное напыление широко применяется в технике для получения тонких металлических или диэлектрических покрытий. [4]
Вакуумное напыление широко применяется для получения рези-стивных пленок, проводников из меди, алюминия и некоторых других сплавов, диэлектрических покрытий из окиси кремния и др. Основные преимущества этого процесса: высокая чистота получаемой пленки; удобство контроля ее толщины в процессе напыления; простота выполнения. [5]
Вакуумное напыление позволяет получать покрытия с более высокой коррозионной стойкостью, чем другие методы. Например, слой кадмия толщиной 0 005 мм, напыленный в вакууме, защищает сталь в такой же степени, как и слой кадмия толщиной 0 01 мм, полученный методом электроосаждения. Кадмиевые покрытия на железных и других подложках могут удовлетворить самым жестким техническим требованиям в отношении адгезии, коррозионной стойкости и других свойств. [6]
Вакуумное напыление применяют для нанесения весьма тонких пленок металлов ( реже диэлектриков) на поверхности деталей, например экраны электроннолучевых трубок. В основном получило распространение термическое распыление, когда навеску металла например, алюминия) помещают в тигель или в вольфрамовую спираль; при нагреве в вакууме металл распыляется и осаждается на поверхности деталей. [7]
Вакуумное напыление металлизации и термокомпрессионная сварка, используемые при изготовлении ИМС, обеспечивают более надежное ( по сравнению с паяным) соединение элементов на молекулярном уровне. [8]
Вакуумное напыление металлизации и термокомпрессионная сварка, используемые при изготовлении ИМС, обеспечивают соединение элементов на молекулярном уровне, более надежное в сравнении с паяным. Следовательно, подавляющее большинство соединений выполняется без применения ручного труда - источника отказов. [9]
Тонкопленочная схема. [10] |
Многослойным вакуумным напылением чередующихся слоев проводников и диэлектриков на стеклянную подложку получают пленочные схемы с большой плотностью монтажа. [11]
Схема установки для. вакуумного напыления. [12] |
Техника вакуумного напыления заключается в следующем. Напыляемый объект помещают под колокол на определенном расстоянии от испарителя и под определенным углом. В испаритель вносят навеску металла или другого вещества, например кварца, и затем под колоколом создают вакуум. После этого испаритель нагревают до определенной температуры в течение времени, необходимого для полного испарения вещества. Атомы металла разлетаются прямолинейно по всем направлениям и некоторые из них конденсируются на образце. [13]
Вакуумное напыление тонких металлических пленок. [14] |
Метод вакуумного напыления позволяет получать тонкие металлические пленки с чередованием слоев нескольких металлов различной толщины и очертаний. При этом различные тонкие металлические пленки получают на одной и той же установке. [15]