Нитрид - тантал
Cтраница 4
Пленки Та имеют очень хорошую адгезию к слоям меди, а пленки TaN - к слоям двуокиси кремния и большинству диэлектриков с НДП и УНДП. Поэтому барьер часто осаждают как двойную систему ( stack) TaN / Ta, где нитрид тантала граничит с поверхностью диэлектриков, а тантал с поверхностью меди. [46]
Конфигурация резистнвных и емкостных элементов задается методом фотолитографии. Величину сопротивления резисторов можно доводить до заданного номинала с высокой точностью, изменяя толщину слоя нитрида тантала 3 в результате формирования на его поверхности пятиокиси тантала 2 способом электрохимического анодирования. [47]
Особенно сильно проявляется влияние остаточных газов и в первую очередь кислорода, паров воды и углекислого газа на характеристики тонких пленок, используемых в качестве сверхпроводников. Не менее чувствительны к воздействию этих газов сверхпроводящие пленки из индия, ниобия, ванадия, тантала, карбида тантала, нитрида тантала и нитрида ниобия. [48]
В качестве основы, определяющей свойства резистивных паст, применяют системы металлов или их окислов. Наиболее распространенными являются резистивные пасты с использованием палладия и серебра, металлического рутения и окиси рутения, окислов таллия, олова и пасты на основе нитрида тантала. [49]
Для подгонки сопротивления и защиты от воздействия атмосферы пленочные резисторы из тантала и нитридов тантала подвергают частичному окислению. Металлические пленки тантала можно окислить термически или методом анодного окисления. Нитриды тантала более стойки к действию кислорода, чем металлический тантал; они заметно окисляются лишь при 800 С. Поэтому подгонку сопротивлений резисторов из нитрида тантала осуществляют обычно анодным электролитическим окислением. [50]
Для подгонки сопротивления и защиты от воздействия атмосферы пленочные резисторы из тантала и нитридов тантала подвергают частичному окислению. Металлические пленки тантала можно окислять термически или методом анодного окисления. Нитриды тантала более стойки к действию кислорода, чем металлический тантал; они заметно окисляются лишь при t 800 С. Поэтому подгонку сопротивлений резисторов из нитрида тантала осуществляют обычно анодным электролитическим окислением. [51]
Для избирательной металлизации поверхности подложки используется травление с применением микрофотолитографии. Алюминий остается на участках, предназначенных для конденсаторов. Затем на подложку напыляется нитрид тантала ( или тантал) до требуемой расчетной толщины для резистивных пленок и диэлектрика конденсаторов. Тантал избирательно удаляется с поверхности подложки. Его пленка остается на участках конденсаторов и резисторов. Резистивные участки анодируются для получения требуемого сопротивления и защиты резисторов. После чего селективно анодируют участки конденсаторов и получают переходные отверстия в диэлектрической плате, на обе поверхности которой наносится затем тонкий слой хрома и золота. [52]
Рассмотренные ранее установки периодического действия имеют следующие основные недостатки: изменение условий процесса между циклами; относительно низкую производительность. Эти недостатки устранены в установках третьего поколения с непрерывным технологическим циклом, например, в разработанной в СССР установке ( линии) непрерывного действия для нанесения тонкопленочных элементов ИМС. Линия предназначена для нанесения сплошных слоев тантала и нитрида тантала. В установке использована двухэлектродная система распыления на постоянном токе. Состоит линия из пяти камер, последовательно соединенных между собой узкими каналами прямоугольного сечения. Поворотные шлюзовые устройства на концах установки обеспечивают непрерывность загрузки подложек и выгрузки изделий. Подложки транспортируются внутри камер ленточным горизонтальным конвейером и неподвижными водоохлаждаемыми направляющими со скоростью 50 - 2400 мм / мин. [53]
Требуемое сопротивление резистора достигается за счет выбора как геометрических размеров пленки ( ширины, длины, толщины), так и материала пленки. Пленку резисторов получают осаждением паров нихрома, тантала, нитрида тантала или смеси металлов с диэлектриком, которые носят название керметов. Применение керметов обеспечивает высокое удельное сопротивление. Их получают из хрома и моноокиси кремния одновременным осаждением паров этих веществ на подложку. [54]
Конденсаторы ГИССВЧ должны выполняться на основе диэлектрических материалов, имеющих малый тангенс угла диэлектрических потерь. Конденсаторы на основе пятиокиси тантала получают с использованием анодирования слоя нитрида тантала. [55]
 |
Металлы, образующие конгруэнтно плавящиеся инертметаллические соединения ( на ребрах графа металлы, образующие интсрмсталлиды. [56] |
Двухслойные системы типа хром - золото, титан-золото ( толщина подслоя 10 нм, золота 1 мкм) испытывают существенное старение при повышенных температурах. С увеличением времени выдержки переходное сопротивление и шумы возрастают в несколько раз, что указывает на наличие взаимной диффузии с образованием интер-металлидов и гетерогенной структуры. При повышенной температуре возможны отслоения пленки контактами площадки от резисторов из нитридов тантала. [57]
Они обладают большой твердостью, высокими температурами плавления, термостойкостью н относительной химической устойчивостью. Например, нитрид ванадия VN плавится при 2300 С, нитрид циркония ZrN - при 2980 С, нитрид тантала TaN - при 3087 С и др. Нитрид титана - вещество золотистого цвета - применяется как сверхтвердый материал для технических целей. [58]
Метод катодного распыления находит широкое применение в технике. Его используют при нанесении специальных покрытий для оптических и электрооптических приборов. В области электроники для контактов и электродов применяют пленки золота, серебра, платины; пленки тантала отличаются высокой стабильностью электросопротивления; нитрид тантала и некоторые пленки сплавов используют для конденсаторов. Пленки SiO2, полученные методом радиочастотного распыления, имеют лучшую стабильность и адгезию, чем полученные любым другим методом. Например, освоен метод нанесения хромовых и платино-хромовых покрытий на лезвия бритв из нержавеющей стали для увеличения срока их службы. В полностью автоматизированной установке одновременно покрывается 70 000 лезвий. Особенно перспективен этот метод для нанесения покрытий из тугоплавких материалов, которые трудно нанести термическим испарением в вакууме. [59]
Страницы: 1 2 3 4