Рабочий объем - установка
Cтраница 1
Рабочий объем установки откачивают до заданного давления с помощью вакуумной системы, состоящей из двух вакуумных агрегатов 1 и 9, присоединенных соответственно к камерам приемника и источника ионов, вакуумных задвижек, фреоновой 8 и азотной 4 ловушек, вакуумной камеры 14 и механических насосов 12 ротационного типа ( два из них рабочих и один запасной), присоединенных к вакуумным агрегатам. Задвижка 6 служит для отключения головки источника от остального рабочего объема установки при смене рабочего вещества и имеет ручной и механизированный приводы. Автоклапаны / / предназначены для автоматического отключения вакуумной системы при внезапном снятии напряжения питания установки. Клапаны 10 имеют ручной привод. [1]
 |
Схема вакуумной системы установки УВН-2М. [2] |
Иногда рабочий объем установок выполняется в виде стеклянного колпака. [3]
Для вакуумирования рабочего объема установки в ее комплект входит вакуумный пост, включающий форвакуумный и диффузионный насосы и систему вакуумных вентилей. Предусмотрена возможность юстировки образца без нарушения вакуумного и температурного режима. Имеется оптическая система, позволяющая визуально наблюдать образец как при комнатной, так и при повышенной температуре. [4]
В начальный период рабочий объем установки и адсорбционный насос предварительно откачиваются вращательным насосом и только после этого в адсорбционный насос заливается жидкий азот. При этом в течение нескольких минут давление в откачиваемом объеме быстро падает до 10 - 6 мм рт. ст., причем создаваемый насосом предельный вакуум может быть еще ниже, однако по мере возрастания количества поглощенного углем газа предельный вакуум постепенно ухудшается. В том случае, когда при работе вакуумной системы выделяются эти газы, необходимо дополнительно использовать вспомогательный пароструйный насос с небольшой скоростью откачки. [5]
Напуск азота в рабочий объем установки осуществляется вен-тилем-натекателем. [6]
Детали загружают в рабочий объем установки в два-три слоя; единовременная загрузка не должна превышать 150 - 200 г. В зависимости от конфигурации и массы деталей их загружают по 500 - 10000 шт. [7]
 |
Состав сплава, вес. %.| Состав газов, об. %. [8] |
Для перемешивания металла в рабочем объеме установки служила ручная механическая мешалка. [9]
При совмещенном хозяйственно-противопожарном водопроводе в рабочий объем установки необходима включать запас воды на 10-минутное пожаротушение из внутренних противопожарных средств. [10]
Первоначальное удаление основной массы воздуха из рабочего объема установки производится вращательным насосом по трубопроводу, соединенному через вентиль 16 с откачиваемым объемом. [11]
Пока происходит нагрев и откачка системы, приступают к подготовке рабочего объема установки к процессу напыления. Для чего тщательно протирают бязевым тампоном, смоченным в ацетоне, все внутренние поверхности подколпачного устройства. Укладывают на нагреватели полупроводниковые пластины, на которые необходимо напылить металл, проверяют состояние испарителей и в случае их исправности вешают на них определенное количество испаряемого материала в виде тонких и узких полосок - гусариков. Проверив состояние термопар, опускают колпак и закрепляют его специальными запорами. [12]
На образование окислов большое влияние оказывает состав остаточных газов в рабочем объеме установки, особенно наличие паров воды. При высокотемпературном и длительном отжиге пленки в вакууме или в защитной ( инертной) атмосфере количество окисла возрастает и может возникнуть окисление пленки. [13]
Цри напылении тонких пленок в вакууме, помимо разряжения, создаваемого в рабочем объеме иапылительной установки, большое значение имеет состав остаточных газов, а также состав и количество тех газов, которые выделяются в процессе разогрева, испарения, конденсации и последующей термообработки напыляемого материала. [14]
Установки с использованием стеклянного колпака позволяют вести визуальное наблюдение за процессом напыления в любой части рабочего объема установки. [15]
Страницы: 1 2 3 4