Рабочий объем - установка
Cтраница 2
Взаимное расположение элементов насоса обеспечивает осаждение паров титана на внутреннюю поверхность водоохлаждаемого корпуса, исключая попадание титана в рабочий объем установки. Поглощение остаточных газов свеженапыленными пленками титана осуществляется через зазоры между крышкой, дном, экраном и обечайкой. При токе нагревателя 40 а и мощности 1 100 вт расход титана составляет 0 15 г / ч, а скорость откачки при давлении 1 10 - 5 мм рт. ст. равна 400 л / сек. [16]
 |
Стоимость откачки 1 л объема при использовании различного типа насосов. [17] |
Большим достоинством криогенных насосов является то, что для получения с их помощью сверхвысокого вакуума нет необходимости длительного прогрева рабочего объема установки. Конструкции насосов достаточно просты, и основной проблемой их эксплуатации является получение, использование и утилизация низкотемпературных хладагентов. При этом энергетические затраты, необходимые для получения хладагентов, сопоставимы с затратами при работе паромасляных агрегатов, обеспечивающих ту же самую скорость откачки. Недостатком криогенных насосов является то, что они не откачивают те газы, которые не конденсируются или не адсорбируются охлажденными поверхностями. [18]
Откачивают из прибора воздух до давления 10 - 3 - 5 - 10 - 4 мм рт. ст., отключают насосы от рабочего объема установки, разбивают ампулу и через кран пускают смесь активных газов в установку, отмечая изменения давления в системе. Краном-дозатором пускают в установку бутан, метан или пары циклогексана, устанавливая в системе суммарное давление 40 мм рт. ст. В этом режиме измеряют активность. После окончания измерения газ из установки откачивают снова, затем отключают насосы, перекрывая краны, соединяющие насосы с системой, и пускают в резервуар для раздавливания ампул воздух. Снимают крышку, вытаскивают осколки ампулы, загружают новую ампулу и повторяют измерение. [19]
Для этих целей целесообразно применять охлаждав мые водой или другими хладагентами холодильники для контактного охлаждения держателей подложек, а также форсировать режим охлаждения путем напуска в рабочий объем установки инертного газа при атмосферном давлении. [20]
 |
Влияние активности катализатора на выход спирта ( 1 и на конверсию этилена ( 2. [21] |
Создавая более жесткие технологические условия и большие объемные скорости ( давление выше и соотношение вода: этилен больше, чем в предыдущем методе), достигают большей производительности при одинаковом рабочем объеме установок. [22]
Полугазовые топки, в которых через слой подается только 0 5 - 0 7 всего количества воздуха, позволяют подогревать вторичный воздух ( он увеличивает общий избыток воздуха при сгорании полугаза в рабочем объеме установки до 1 1 - 1 2) до высоких температур и вести процесс сгорания с большой полнотой. [23]
К положительным особенностям беспоршневого аккумулятора относятся возможность получения больших рабочих объемов жидкости и уменьшения опасности возникновения гидравлического удара, так как отсутствуют промежуточные элементы между воздухом и жидкостью; относительно небольшие потери воздуха; возможность сравнительно легко увеличить рабочий объем установки. [24]
При выборе откачных средств для напылительных установок первостепенное значение имеет количество загрязнений, вносимых из насоса в откачиваемый объем. Поскольку рабочий объем установки периодически сообщается с атмосферой, то находящиеся в нем стеклянные и металлические поверхности, ранее очищенные различными химическими способами, неизбежно покрываются молекулами воды и гидроксильных групп. Этот слой в значительной мере защищает поверхность от интенсивного поглощения молекул органических и кремнийорганических жидкостей и молекул углеводородов, выделяемых из резиновых прокладок. [25]
При использовании первого метода ( метода раздельного напыления) маски на воздухе предварительно точно совмещаются с подложками, после чего устанавливаются на подколпачную карусель. После этого рабочий объем установки заполняют воздухом, колпак поднимают, подложки с масками вынимают и производят замену масок. Затем в такой же последовательности, но уже на другой установке и через другие маски на подложки напыляют следующий слой. Таким образом, при напылении каждого следующего слоя необходимо разгерметизировать рабочий объем установки. [26]
Установка проста по конструкции и удобна в эксплуатации. Температура в различных участках рабочего объема установки различается не более чем на 1 - 4 С. Установку можно использовать для вулканизации покрытий в полевых условиях, на монтажных площадках, когда применение нагревательных устройств других типов невозможно из-за отсутствия пара или электроэнергии. В этих случаях электродвигатель в приводе установки заменяется двигателем внутреннего сгорания. [27]
Установка проста по конструкции и удобна в эксплуатации. Отклонение температуры в различных участках рабочего объема установки не превышает 1 - 4 С. [28]
Затем подложки вынимают и меняют маски, через которые осаждают следующий слой. Осаждение каждого слоя требует разгерметизации рабочего объема установки. Достоинством метода является высокая точность получения конфигурации элементов схемы, так как совмещение масок с подложками или селективное травление пленки производится на воздухе. При этом, однако, возможно загрязнение подложек и нанесенных на них слоев. [29]
Для того чтобы пленка металла прочно держалась на поверхности стекла, - последняя должна быть тщательно очищена от следов жира и различного рода загрязнений. Недопустимо также присутствие воды в рабочем объеме установки, так как в этом случае покрытие становится хрупким и цвет его изменяется вследствие образования окислов металлов. Присутствие масляных паров также ухудшает качество покрытия. [30]
Страницы: 1 2 3 4