Cтраница 4
Существенным отличием исследованных типов разрядов от известных в литературе [1-5] является то, что импульсы накладывались на Неравновесную плазму тлеющего разряда при тщательно охлаждаемых проточной водой электродах. Как показало спектроскопическое исследование такого рода импульсных разрядов, в их спектрах не только отсутствуют атомные линии материала электродов, о и полностью сохраняется вращательная структура полосатого спектра. [46]
Ионное осаждение в вакууме отличается от предыдущего метода тем, что пары осаждаемого металла или сплава ионизируются в плазме тлеющего разряда, в котором катодом служит испаряемый материал, а анодом - подложка. Нагрев производят различными методами. При этом происходит ионизация паров, ионы ускоряются электрическим полем, поток ионов осаждается на подложке. [47]
Для более точного управления процессом разложения силана и, как следствие, свойствами получаемых пленок в современных установках в области плазмы тлеющего разряда дополнительно создают магнитные и электрические поля. [48]
В сборнике представлены обзорная информация и результаты ряда экспериментальных исследований в области образования полимерных пленок из паров органических соединений в плазме тлеющего разряда. В обзорной статье рассмотрены литературные данные по вопросу влияния строения исходного вещества на кинетику образования и свойства пленок, получаемых полимеризацией в разряде, а также изложены аспекты развития исследований в этой области. [49]
Изучен характер процессов, протекающих на поверхности эластомеров СКФ-32, СКН-26 и резин на их основе при обработке их в плазме тлеющего разряда переменного тока; исследованы свойства модифицированных поверхностей. [50]
Помимо Н О2 известны также высшие пероксиды водорода ( полиоксиды водорода): Н2О4 и Н2О4 получают конденсацией при - 195 С плазмы тлеющего разряда в системах Н2 - О2, а также взаимод. [51]
В отличие от полимеризации под действием химических отвер-дителей и температуры, когда требуется наличие в молекулах ненасыщенных связей или функциональных групп для протекания реакций полимеризации на подложке, для полимеризации в плазме тлеющего разряда этого не требуется. При воздействии электронов и ионов образуется болыпое количество - активных частиц: свободных радикалов, ионов, возбужденных молекул и атомов, способных инициировать реакции полимеризации в тонком слое мономера на поверхности. [52]
В работе [56 ] исследовали влияние разбавления аммиака аргоном, а также различных смесей аммиака с пропаном на кинетику формирования и структуру диффузионных слоев на техническом железе и сталях 40Х и 38Х2МЮА в плазме тлеющего разряда. [53]
В первом приближении условия на катоде в тлеющем разряде постоянного тока не очень сильно отличаются от условий на подобном отрицательном электроде, помещенном в плазму, за тем исключением, что вторичные электроны, освобождаемые из катода, в случае тлеющего разряда играют определяющую роль в поддержании плазмы тлеющего разряда. [54]
В Трибологическом центре Ивановского государственного университета, занимающегося решением крупных научно-исследовательских задач в области трибологии ( трение, износ, смазка), базирующихся на фундаментальных исследованиях физики, химии и механики трибосистем, разработана технология и сконструирована установка для ионной антифрикционной плазмо-химической обработки быстрорежущего инструмента, позволяющая одновременно насыщать обрабатываемый материал азотом, углеродом и йодом в плазме тлеющего разряда - ионная йодонитроцементация. Данная технология наряду с упрочнением инструментального материала позволяет сформировать в его поверхностных слоях иодосодержащие структуры, что позволяет полностью заменить использование стандартных внешних смазочно-охлаждающих технологических средств. [55]
Тлеющий разряд в отличие от дугового возбуждается при меньших токах и при давлениях ниже атмосферного ( хотя могут быть созданы условия для возбуждения разряда и при атмосферном давлении) и характеризуется большим ( в несколько сот вольт) катодным напряжением. Плазма тлеющего разряда, как правило, термически неравновесна, например, температура электронов в разряде достигает десятков тысяч градусов и на один-два порядка превышает температуру атом-ионного газа. Это дает большие преимущества при создании технологических аппаратов, так как высокая термическая неравномерность позволяет эффективно проводить плазмохимические процессы, и в то же время нет трудностей в термозащите разрядного канала и в обеспечении высокого ресурса работы электродов. [56]
Первое условие выполнимо, и только, по - идимому, невыполнением второго условия можно объяснить большие остаточные концентрации ПМЦ. Полимерные пленки, полученные в плазме тлеющего разряда, обладают сильно развитой системой поперечных сшивок, поэтому вполне вероятно, что возможность взаимодействия радикалов в этих условиях сильно затруднена. [57]
Он осуществляется при помещении подложек в плазму тлеющего разряда. [58]