Пленка - карбид
Cтраница 1
 |
Углеродопоглощающая способность металлов в натрии. [1] |
Пленки карбидов на поверхности металла обладают барьерными свойствами вследствие низкой скорости диффузии углерода в них. [2]
 |
Зависимость удельного электрического сопротивления от толщины слоя пленок карбида молибдена.| Зшшспмость температурного коэффициента электросопротивления пленок карбида молибдена от толщины слоя. [3] |
Исследования пленок карбида молибдена, осажденных на подложках с температурой ниже 30 С, показали, что пленки отличаются большой нестабильностью параметров при хранении на воздухе. Это выражается, например, в непрерывном увеличении электрического сопротивления пленки. [4]
Изменение сопротивления пленки карбида молибдена может быть вызвано воздействием воздуха, паров воды, находящихся в воздухе, или же процессами старения. [5]
На основе пленок аморфного карбида кремния изготовляют светодиоды, солнечные элементы, записывающие среды для электрофотографии, мишени видиконов. [6]
НЮ зв) пленка карбида молибдена образуется и при температурах ниже 250 С. С увеличением плотности тока электронного луча скорость роста пленки карбида молибдена возрастает и разница между скоростями роста при облучении и без него увеличивается, в то время как рост давления паров гексакарбопила молибдена в рабочей камере вызывает увеличение скорости роста пленки в обоих случаях. [8]
При термической обработке пленок карбида молибдена в атмосфере воздуха в интервале температур 25 - 120J С для стабилизации электрических свойств необходимо проводить несколько циклов нагрева и охлаждения, количество и продолжительность которых зависят от толщины слоя, условий осаждения и температуры нагрева. [9]
Согласно [454], толщина пленок карбида молибдена изменялась в зависимости от времени осаждения. [10]
Был обнаружен побочный эффект - образование пленки карбида кальция на частицах и связанная с этим агломерация частиц. [11]
В патенте [120] описан способ осаждения пленок карбида бора разложением в паровой фазе триметилбора. Трипропил-итриизопропилбор при пиролизе в вакууме ( 3 - 10 - 3 мм рт. ст.) в интервале температур 1000 - 1200 С дают боруглеродистые пленки. [12]
Термообработка оказывает значительное влияние па структуру пленок карбида молибдена: изменяется не только микроструктура, но и фазовый состав. Скорость превращения зависит от температуры. Так, при температуре 650 С карбид молибдена с ГЦК решеткой полностью переходит в карбид Мо2С через 5 час. С - всего через 20 мин. На воздухе пленки полученного карбида окисляются с такой же скоростью, как и пленки чистого молибдена. [13]
Замечено [120], что электрическое сопротивление пленок карбида молибдена, имевших толщину не более 3000 А и полученных при облучении электронами подложки с температурой 250 - 350 С, как правило, в несколько раз. [14]
Показано [122], что температурная обработка пленок карбида молибдена толщиной менее 200 А должна проводиться в вакууме непосредственно после осаждения. Если перед обработкой пленку даже на короткое время извлечь из вакуумной установки па воздух, то она частично окисляется до окиси молибдена. При этом не было замечено значительного влияния величины разрежения на электрические свойства пленок. Пленки, термически обработанные при 10 - 2 - 10 - 3 мм рт. ст., не отличались от пленок, обработанных в вакууме 10 - 6 - 10 - 6 мм рт. ст.; исключение составляет менее интенсивный спад сопротивления в области высоких температур для пленок толщиной менее 300 А. [15]
Страницы: 1 2 3 4