Cтраница 2
В работе [118] исследованы электрические свойства пленок карбида молибдена кубической структуры. Изучено влияние толщины слоя, температуры подложки и скорости осаждения па удельное электрическое сопротивление и ТКС. [16]
Изучено влияние облучения электронами на скорость роста пленок карбида молибдена при таких температурах подложки, когда возможна термическая диссоциация гексакарбопила молибдена. [17]
Покрытия подразделяют на металлические ( например, пленкой карбида металла - К), неметаллические ( например, пленкой кремния - КМ) и композиционные. Они повышают прочность и износостойкость абразивных зерен, предохраняют их от раскалывания и выкрашивания, обеспечивают лучшее удерживание их связкой, способствуют снижению температуры в зоне резания и улучшают физико-механические свойства связки. [18]
Согласно данным [ 122, Т К С пленки карбида молибдена, рассчитанный в интервале температур 20 - 130 С, увеличивается после нагрева пленки до 300 С в результате процесса, связанного с уменьшением сопротивления пленки. Установлено, что характер изменения ТКС трех пленок различной толщины одинаков - с ростом темпертуры термообработки коэффициент увеличивается. После нагрева пленок до 500 - 550 С температурный коэффициент близок к пулю. [19]
По данным работы [117], температурный коэффициент электросопротивления пленок карбида молибдена, полученных при температурах подложки от - 5 до - - 50 С, резко увеличивался после нагревания пленок до 200 - 300 С в результате протекания процессов, связанных с укрупнением кристаллов в поликристаллической пленке и уменьшением различного рода дефектов. [20]
Превышение этих скоростей нагрева приводит к доминированию растворения пленки карбида титана над ее ростом. [21]
В работе [122] детально исследовано влияние термообработки на электрические свойства пленок карбида молибдена с ГЦК решеткой. [22]
В работе [116] приведены экспериментальные данные ( табл. 10 - 9) по электросопротивлению пленок карбида молибдена, полученных разложением гексакарбонпла молибдена электронным лучом. [23]
С помощью электронной микроскопии и дифракции, инфракрасной спектроскопии и металлографических методов исследованы изменения структуры пленок карбида кремния на кремнии в зависимости от режима наращивания пленок и их толщины, а также влияние пленок различной структуры и толщины на структуру монокристаллической подложки. Для получения карбида кремния использован метод термического разложения хлорсиланов в атмосфере аргона или водорода. [24]
Установлено, что чем выше температура подложки, тем меньше удельное сопротивление и больше ТКС пленок карбида молибдена. [26]
Пленки кремния были получены разложением четыреххлори-стого кремния в нейтральной и восстановительной среде и термическим разложением метилхлорсилана; пленки карбида кремния - из метилхлорсилана, порошки моноокиси и двуокиси кремния - окислением четыреххлористого кремния, а моноокись кремния - восстановлением и термическим разложением тонкодисперсной двуокиси кремния. [27]
При исследовании анодного окисления водорода и его катодного выделения в 0 5 М растворе H2SO4 на поверхности пленок карбида ( 5УД 10 8 - 12 7 м2 / г) было выявлено, что скорости процессов приблизительно пропорциональны активности поверхности. [28]
Зависимость стойкости пластин из сплава ТГ10К8Б при резании стали.| Зависимость коэффициента стойкости при резании ЛГСТ от толщины покрытия 6. [29] |
Расхождения в полученных данных, вероятно, объясняются негативным влиянием на режущие свойства инструмента кислорода, присутствующего в пленке карбида титана. [30]