Cтраница 4
На рис. 10 - 25 приведены кривые, характеризующие изменение сопротивления свежена-пылешшх пленок карбида молибдена различной толщины при хранении на воздухе. Видно, что скорость изменения сопротивления во времени растет при уменьшении толщины пленки, вероятно вследствие окисления. [46]
В табл. 13 приведены примеры окислов металлов, которые были получены методом реактивного испарения, и некоторые свойства этих пленок. Если основной интерес представлял не просто состав пленки, а ее структура, плотность, твердость, оптическое поглощение или диэлектрические постоянные, то температура подложки выбиралась высокой. Хотя существующие исследования относятся главным образом к окислам, однако реактивное испарение может быть использовано и для других классов соединений. В качестве примера можно привести CdS, который при непосредственном испарении дает нестехиометрические, обогащенные кадмием, низкоомные пленки. Образование пленок карбидов при испарении металла в присутствии углеводородов не было еще исследовано по той причине, что для этого требуются слишком высокие с практической точки зрения температуры подложки. [47]
Обработка кремния также связана со значительными трудностями. Если процессы охлаждения и затвердевания проведены недостаточно тщательно, то получается очень пористый кристалл, в некоторых случаях даже напоминающий губку. Это не только усложняет задачу измерения ( так как измерения сопротивления дают при этом сомнительный результат), но такой губчатый материал не годится для изготовления диодов и триодов. Вследствие высокой температуры плавления во время этой операции происходит обезгаживание всяких вспомогательных материалов, и поскольку кремний очень активен химически, образуются различные силициды, загрязняющие расплав. Это требует применения специального экранирования и поисков способа расположения деталей, сводящего загрязнение к минимуму. Так, кремний реагирует с любыми деталями из графита, присутствующими в системе, причем образуются пленки карбида кремния. [48]