Пленка - нитрид
Cтраница 3
Процесс LP РЕ CVD TIN ( TiCl4 - Ar / NH3 - N2) протекает при низких температурах 250 - 350 С, но обладает низкой степенью конформности покрытия рельефа. Кроме того, в пленках нитрида титана содержится много атомов хлора, которые при последующих термических процессах могут выделяться и взаимодействовать со слоями алюминия. [31]
Радий обладает характерным металлическим блеском, быстро исчезающим под действием воздуха. Возможно, на воздухе поверхность радия покрывается пленкой нитрида радия. Металлический радий разлагает воду с образованием гидроокиси и выделением водорода. [32]
В плазме N2 / H2 генерируются радикалы ( химически активные частицы) NH, которые внедряются и диффундируют в пленки TiN, замещая в них аминогруппы. Замещенные аминогруппы, целиком или разлагаясь на элементы, диффундируют из пленок нитрида титана в атмосферу. [33]
 |
Устройства для барботирования инертных газов. [34] |
Самый дешевый способ создать инертную атмосферу - это использовать азот непосредственно из баллона без очистки. Хотя для большинства экспериментов этого ДОСРОЧНО, все же лучше использовать аргон, особенно в реакциях с использованием металлического лития, поверхность которого при контакте с азотом тускнеет из-за образования пленки нитрида. [35]
Аналогичная картина наблюдается при исследовании остальных редкоземельных металлов. С повышением температуры ( соответственно от 700 С для лантана, 500 С - для церия, 500 С - для неодима) превалирующим процессом является уже нитридообразование, вследствие чего образуется на поверхности металла пленка нитрида, препятствующая диффузии азота в глубь образца, и содержание азота в продуктах азотирования резко уменьшается. [36]
Для получения пьезоэлектрических пленок используются различные методы. Пленки CdS и ZnS получают в вакууме термическим испарением как соединений, так и отдельных элементов. Пленки нитрида алюминия и ZnO выращивают также путем реактивного термического испарения, в то время, как пленки CdS, ZnO и ннобата лития получают с помощью различных методов ионного распыления. [37]
Кальций реагирует с азотом энергичнее всего около 450, так как в связи с полиморфным превращением, идущим при этой температуре ( см. стр. У Sr и Ва этого явления не наблюдается. Небольшие количества Na на поверхности металла активируют этот процесс, так как Na препятствует образованию пленки нитрида. [38]
Кальций реагирует с азотом энергичнее всего около 450, так как в связи с полиморфным превращением, происходящим при этой температуре ( см. стр. У Sr и Ва этого явления не наблюдается. Небольшие количества Na на поверхности металла активируют этот процесс, так как Na препятствует образованию пленки нитрида. [39]
Авторы приводят значения прочности комплексной нити, определенной по методике, применяемой для оценки механических свойств химических волокон, поэтому не представляется возможным оценить истинную прочность и сравнить ее с прочностью других жаростойких волокон. По сравнению с 7гО2 - волокнами оно менее прочно, что, возможно, объясняется недоработкой процесса получения 51О2 - волокна. Для повышения прочности керамическое волокно предложено покрывать нитридом бора [46]; например, керамическое волокно диаметром 50 мкм покрывалось пленкой нитрида бора толщина 1000 А. Процесс осуществлялся в течение 5 мин. [40]
Таким же способом получают фторидные пленки, например AlFs. Пленки нитридов, обладающие хорошими диэлектрическими свойствами, например нитрид бора ( BN), можно получить в результате ступенчатого химического процесса: металл обрабатывают трихлоридом бора ВС13 при 1200 - 1500 К. При этом на поверхности металла образуется слой его борида. После этого поверхность при той же температуре обрабатывается парами трихлорборазила и на ней образуется нитрид бора. Фосфатные пленки получаются при обработке металла смесью растворов фосфорной и азотной кислот. Фос-фатирование чаще всего применяют для изоляции листовой электротехнической стали. [41]
Скорость реакции (7.30) контролируется температурой и парциальными давлениями TiCl4 и NHr Чем выше давление и температура, тем больше скорость осаждения пленки нитрида титана. Степень конформности покрытия топологического рельефа зависит от давления и отношения расходов TiCl4 / NH3 и почти не зависит от температуры. Отношение расходов TiCl / NHj также управляет свойствами осаждаемых пленок TIN. Большее содержание NH3 в газовой смеси снижает содержание атомов хлора в пленках нитрида титана, их удельное сопротивление и уменьшает степень конформности покрытия топологического рельефа. [42]
Покрытия из карбидов и нитридов металлов получают, добавляя к смеси водорода с хлоридом металла некоторое количество углеводорода или азота. Как показали Мюнстер и Рупперт [927], равномерные слои нитрида титана на стали можно получать в две стадии. На первой стадии, протекающей по реакции TiCL, 2Ffe Va ( N2) TiN 2 ( FeCl2), водород отсутствует и только после ее окончания в газовую смесь добавляют водород. При индукционом нагреве, скорости подачи газа 40 л / час и содержании в литре газовой смеси 100 мг четыреххлористого титана толщина пленки нитрида титаната TiN достигала за 15 мин около 15 мкм. [43]
Обезжиренная подложка из тугоплавкого металла ( Мо, Та, Nb, W) обрабатывается трихлоридом бора при 0 7 - 13 Па и 900 - 1 300 С в течение 15 - 60 с. За это время на подложке образуется слой борида металла. Камера затем откачивается до 0 1 Па и наполняется парами ( 5-трихлор-боразоля ( B3N3H3C13) до давления 1 - 40 кПа, и подложка нагревается до 900 - 1 300 С. В течение 1 - 5 мин создается пленка нитрида бора толщиной от 0 2 до 5 мкм. Пленки стабильны при температурах до 700 С. [44]
 |
Микроструктура пленки из нитрида ниобия. [45] |
Страницы: 1 2 3 4