Мы медленно запрягаем, быстро ездим, и сильно тормозим. Законы Мерфи
(еще...)
Пленка - двуокись - кремний
Cтраница 5
Па рис. 6 - 12 показана система подачи реагентов, а на рис. 6 - 13 - схема реакционной камеры, используемых при получении пленок двуокиси кремния из тетраэтоксисилана в кислородной плазме.
[61]