Cтраница 1
Резистивные пленки применяют для резисторов, для обкладок конденсаторов. [1]
Резистивные пленки независимо от материала удобно характеризовать величиной сопротивления на квадрат поверхности PQ. Эта величина является объективной характеристикой пленок и зависит от удельного сопротивления материала и толщины. [2]
Резистивная пленка является основным исходным конструктивным элементом пленочных резисторов. Ее наносят на диэлектрическое основание, а концы замыкают на контактные площадки высокой проводимости. [3]
![]() |
Зависимость поверхностного сопротивления ( а и Т КС ( б металлической пленки от толщины для участков с различной структурой. [4] |
Резистивные пленки толщиной менее 0 01 мкм имеют нестабильные характеристики из-за большого количества пор и являются нетехнологичными из-за трудностей в контрольных операциях. [5]
Станатные резистивные пленки состоят из двуокиси олова SnO2, но отличаются от стехиометрического состава избытком олова. [6]
Танталовые резистивные пленки можно распылять, получая при этом поверхностное сопротивление 50 - 600 Ом / квадрат. [7]
Резистивные пленки рения находятся в стадии агломерации, в которой добавочное сопротивление появляется вследствие конечного расстояния между частицами пленки. Тугоплавкость рения позволяет использовать его даже при толщинах порядка 4 нм. Пленки получаются чаще всего посредством электронно-лучевого разогрева гранул рения в вакууме 1 - f - Н-6 ЛО-4Па. Осаждение пленок осуществляется при температуре подложки порядка 350 С. Пленки рения нуждаются в защите от воздействия атмосферы, поэтому их обычно покрывают защитным диэлектрическим слоем моноокиси или окиси кремния. [9]
![]() |
Четырехполюсники с распределенными параметрами. [10] |
Сопротивление резистивной пленки регулируют, изменяя ее толщину, а емкость на единицу поверхности - варьируя толщину подложки либо форму и расположение проводящей пленки по отношению к резистивной. [11]
Перекрытие резистивной пленки и проводящего элемента в зоне их контактирования ( рис. 2.7) должно обеспечивать надежный контакт независимо от способов формирования элементов и придания им заданной конфигурации. [12]
Толщина резистивной пленки обычно составляет 100 мк. [13]
![]() |
Схема резистивного датчика. [14] |
Напыление резистивной пленки на контрольную подложку осуществляют одновременно с напылением на рабочую подложку. [15]