Повышение - качество - поверхность
Cтраница 5
 |
Значения коэффициентов С, х, у. [61] |
При замене спиральных сверл на алмазные вопросы качества поверхности не являются определяющими. В то же время алмазное сверление представляет собой абразивную обработку, поэтому следует ожидать и повышения качества поверхности отверстий. Повышение качества, в свою очередь, исключает зачастую дополнительные виды обработки, такие как зенкерование и развертывание. [62]
Следует отметить, что при многослойной металлизации изменение формы ступенек в окисле связано с опасностью появления большого числа микроотверстий, которые приводит к короткому замыканию слоев. Поэтому для сглаживания рельефа изолирующего окисла на краях металлических дорожек не рекомендуется применять химические методы. Установлено, что плотность микроотверстий зависит от качества обработки поверхности и толщины изолирующего слоя и резко снижается с повышением качества поверхности или с увеличением толщины слоя диэлектрика. Различного рода загрязнения ухудшают также адгезию металлической пленки и приводят к изменению подвижности атомов. [63]
Страницы: 1 2 3 4 5