Cтраница 1
Вакуумные покрытия можно получать на установках трех типов: периодического, полунепрерывного и непрерывного действия. В установках периодического действия детали загружаются в вакуумную камеру, которая откачивается до требуемого давления. Затем металл нагревается и испаряется. После завершения цикла в камеру впускается воздух, готовые детали извлекают, а затем загружается новая партия деталей. [1]
Вакуумные покрытия применяют для нанесения тонкого слоя любого металла на поверхность металлических и неметаллических деталей. Различают два способа вакуумного покрытия: катодное распыление и вакуумное испарение. [2]
Хромовые вакуумные покрытия на стали являются катодными: процесс коррозии во всех исследованных средах носит язвенный характер. Очаги коррозионного разрушения возникают в порах и трещинах покрытия, в то время как основная поверхность покрытия не корродирует, оставаясь блестящей. Катодный характер хромовых покрытий на стали и влияние пористости на скорость коррозии подтвердили электрохимические исследования, результаты которых приведены ниже. [4]
Тонкие вакуумные покрытия, ионная имплантация и другие виды обработки, затрагивающие чрезвычайно тонкие поверхностные слои, находят все большее применение. Механизм их воздействия на фрикционные характеристики не раскрыт, что тормозит поиск оптимальных видов и режимов модификации. Термин упрочняющая обработка не следует понимать буквально в смысле повышения твердости поверхностных слоев, что подтверждается успешным использованием как пластичных, так и высокопрочных покрытий. В обоих случаях вследствие нанесения покрытий повышается износостойкость, снижается коэффициент трения. [5]
Многие свойства вакуумных покрытий, и в первую очередь прочность сцепления их с основой, зависят от условий формирования первых слоев осадка, поэтому выяснение механизма конденсации металла имеет важное значение. [6]
При нанесении вакуумных покрытий в непрерывных линиях проявляются некоторые недостатки, которые не так существенны в случае декоративной металлизации и при нанесении тонких пленок в микроэлектронике. К ним относятся, прежде всего, потери испаряемого металла, неравномерность толщины покрытия и неизбежный дополнительный разогрев подложки за счет выделения теплоты конденсации и поглощения теплоизлучения от испарителя. [7]
Режим нанесения вакуумных покрытий на пластмассы легко управляем, причем можно получать покрытия из металлов, которые с трудом наносятся другими методами. Пластмассы не подвергаются действию влаги в процессе нанесения вакуумных покрытий; при получении блестящих покрытий не нужно последующее полирование; процесс пригоден для металлизации полимерных пленок. [8]
![]() |
Поляризационные кривые покрытий в среде 3 % - го раствора NaCl. [9] |
Анодная поляризация алюминиевых вакуумных покрытий в 3 % - ном NaCl незначительна, что указывает на сравнительно легкий процесс анодного растворения в присутствии галогенов. Покрытия, полученные из порошковых материалов, имеют плотные и толстые окисные пленки, вызывающие более значительную анодную поляризацию. [10]
Потенциал поверхности алюминиевого вакуумного покрытия через сутки испытаний близок к потенциалу стали. Характерная особенность поведения пористого вакуумного покрытия - локализация коррозионного процесса в порах с образованием труднорастворимых продуктов коррозии байерита и бемита, которые экранируют пору. Вследствие уменьшения рН раствора на дне поры создаются условия для анодного растворения железа, и на поверхности алюминия появляются точки ржавчины. Для алюминиевых беспористых покрытий защитная способность более значительна. [11]
Результаты коррозионных испытаний вакуумных покрытий и гальванических в 3 % - ном растворе NaCl при полном погружении приведены в табл. 20, из которой видно, что защитные свойства вакуумных покрытий толщиной 15 мкм выше гальванических. Покрытия толщиной 30 мкм, как и при других видах коррозионных испытаний, менее стойки, чем покрытия толщиной 15 мкм. [12]
Рассмотрены особенности формирования газотермических и вакуумных покрытий. Предложены методы расчета остаточных напряжений в системе покрытие-подложка-деталь. Представлены результаты исследования физико-механических свойств и структуры покрытий в зависимости от условий напыления и рассмотрены возможные схемы управления технологическим процессом при напылении. [13]
Как отмечалось выше, нанесение вакуумных покрытий из карбида и нитрида титана позволяет повысить износостойкость поверхностей трения. [14]