Cтраница 4
Посуда и щипцы должны быть такими же, как и при химической полировке кремния. Полировальная смесь должна быть свежая, но выстоявшая в течение 0 5 ч с момента смешения. [46]
Механизм действия противоизносных присадок отличается от действия лротивозадирных и сводится к химической полировке трущихся поверхностей, обеспечивающей равномерное распределение нагрузки и понижающей тем самым локальные температуры и давления. Наличие в присадках в качестве активного элемента только хлора незначительно улучшает противоизносные показатели по сравнению с базовой смазкой. Более эффективны присадки, содержащие серу, однако при увеличении их содержания в смазке наблюдается повышенный износ. В то Ж е время противозадирные свойства смазок монотонно улучшаются с увеличением концентрации присадок. Использование фосфора в качестве химически активного компонента значительно улучшает противоизносные свойства смазок по сравнению с хлор - и серо-органическими соединениями. Оптимальные результаты, очевидно, могут быть получены при комбинировании всех элементов, поскольку противозадирные свойства фосфорсодержащих соединений невысокие. [47]
Дефекты, возникшие в процессе механической обработки подложек, можно устранить химической полировкой, когда нарушенный слой удаляется путем его стравливания. Поверхностные напряжения могут быть сняты, а аморфизированный слой восстановлен применением высокотемпературного отжига при 1300 - 1500 С. [48]