Сверхвысокий вакуум

Cтраница 3

Наиболее перспективными для создания сверхвысокого вакуума в специальной высокотемпературной металлографической аппаратуре являются гетеро-ионные насосы, в которых поглощающая поверхность создается напылением химически активного металла, например титана, образующего устойчивые соединения с большинством газов, находящихся в откачиваемом объеме. Инертные газы, не взаимодействующие с титаном, удаляются с помощью небольшого вспомогательного насоса или путем ионной откачки. [31]

Наконец, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизированного манометра необходимо предварительно устранить малейшие течи в вакуумной системе, а вакуумную систему и манометрическую лампу тщательно обезгазить. Откачанная насосами до возможно более низкого давления и обезгаженная вакуумная система изолируется от насосов ( вентилем); если течи нет, то откачка продолжается при помощи ионизационного манометра. [32]

Печь пригодна для получения сверхвысокого вакуума, свободного от влаги и загрязнений, при температуре до 2200 С. Такая печь особенно подходит для термообработки тугоплавких или активных металлов, таких как Та, Nb, Zr, а также для спекания, светлого отжига и дегазации различных металлов. [33]

Спектр остаточных газов прогреваемого сверхвысоковакуумного. [34]

Необходимым условием для получения сверхвысокого вакуума является ловушка для паров масла. На рис. 339 показан спектр остаточных газов системы двух последовательно включенных диффузионных насосов с лабиринтным отражателем. [35]

Зависимость температуры насыщенного пара органических веществ от давления. [36]

Это особенно важно для сверхвысокого вакуума, когда предел достигаемого разрежения определяется проницаемостью стенок вакуумной системы. [37]

Если напыление происходит в сверхвысоком вакууме, то скорость напыления должна увеличиваться, чтобы при прочих равных условиях опыта добиться ориентированного осаждения. [38]

При работе прибора в сверхвысоком вакууме предъявляются чрезвычайно высокие требования к чистоте поверхностей электродов. Загрязнение электродов, помимо искажения парциального состава газа, может привести к отклонению рабочих характеристик прибора. [39]

В работах [136, 151] в условиях сверхвысокого вакуума были получены конденсаты германия с дырочной проводимостью. Это свидетельствует о том, что величина вакуума сама по себе не является определяющей. Следует учитывать также состав остаточных газов, наличие летучих примесей, динамичность вакуумной системы, чистоту источника и подложки, а также параметры процессов испарения и конденсации. [40]

Использование криосорбционных ловушек для получения сверхвысокого вакуума по сравнению с применением их для форвакуумной откачки изучено гораздо меньше. Для расширения области рабочих давлений криосорбционных ловушек, для снижения общей газовой нагрузки и в особенности исходного давления более легких газов требуется предварительная откачка насосом какого-либо другого типа. Этот вопрос исследовался Ридом [101], который для предварительной откачки небольшой прогреваемой вакуумной системы до 10 - 9 мм рт. ст. использовал паромасляный диффузионный насос. Последующая сорбция на охлаждаемую жидким азотом ловушку из нержавеющей стали с заполнением цеолитом 13 X привела в результате к снижению давления до 5 10 11 мм рт. ст. Однако из его работы оставалось неясным, в какой мере это снижение было связано с присутствием цеолита. Инклей и Колеман [91] изучали криосорбционную откачку на небольшой системе из пирексового стекла, предварительно откачанной ртутным диффузионным насосом до 10 - 8 м рт. ст. Их ловушка представляла собой контейнер из нержавеющей стали с кассетами из монеля для различных адсорбентов. Активация ловушек охлаждением жидким азотом снижала давление до 5 10 - 10 мм рт. ст. Однако этот эффект не зависел от типа используемого адсорбента или даже от его наличия. Отсюда следует, что откачка неконденсируемых газов существенно улучшается за счет адсорбции на металлических поверхностях ловушки. Из экспериментов Инклея и Колемана становится очевидной и предельная адсорбционная емкость цеолитов в сверхвысоком вакууме. Эта конструкция является комбинацией охлаждаемых жидким азотом и жидким гелием шевронных отражателей, причем первая экранирует вторую, имеющую охлаждаемую гелием панель с цеолитом. [41]

Индиевые уплотнения.| Металлические прокладки. [42]

Для уплотнения редко разбираемых соединений сверхвысокого вакуума, а также соединений, прогреваемых до 150 С, применяют индиевые уплотнения. [43]

Ячейка соединена со стеклянной установкой сверхвысокого вакуума, которая откачивалась ртутными диффузионными насосами и обеспечивала давление меньше, чем 10 - 9 мм рт. ст. Система снабжена приспособленном для впуска небольших порций газа [7, 8], через ртутные1 затворы. [44]

Краны со смазкой в установке сверхвысокого вакуума недопустимы. Это небольшая потеря, так как даже при работе в обычном вакууме они причинияют много вреда. Имеется несколько простых и надежных способов введения и контроля газов. [45]

Страницы: 1 2 3 4 5