Cтраница 4
Уран, используемый в атомных реакторах, анализируют на содержание примесей бора, которого должно быть не более стотысячных долей процента. [46]
Метод основан на отгонке иода при 80 С, концентрировании примеси бора в остатке в виде нелетучего соединения с кальцием и определении бора в виде комплексного соединения с куркумином в растворе концентрированной серной кислоты в присутствии уксусной. [47]
Для уменьшения удельного сопротивления поликремниевых участков затвора осуществляется их легирование примесью бора или фосфора в зависимости от типа проводимости в канале. Такое легирование проводится одновременно с формированием областей стоков и истоков транзисторов. На рис. 1.8 г показано поочередное нанесение слоев SiO2 из кремнийорганических соединений ( п - и p - SiO2) с последующим формированием областей стоков и истоков МДП-транзисторов обеих типов проводимости. Как видно из этого рисунка, в процессе формирования этих областей, в качестве маски используются участки поликремния, выполняющие роль затворов МДП-транзисторов. В результате обеспечивается самосовмещение границ затвора и областей стока и истока. Отметим, что использование алюминия в качестве затвора и маски для обеспечения самосовмещения оказывается невозможным, так как его температура плавления ниже температуры легирования кремния примесями на стадии разгонки. [48]
Были также получены спектры ЭПР на образцах a - SiC, содержащих примеси бора и алюминия. [49]
Были также получены спектры ЭПР на образцах ct - SiC, содержащих примеси бора и алюминия. [50]
Выращиваемый из тигля из синтетического кварца монокристалл германия загрязняется в основном примесями бора, алюминия и галлия. [51]