Cтраница 2
![]() |
Схема прибора для обратного рассеяния ионов. [16] |
Обратное рассеяние ионов с хорошо сфокусированными ионными пучками ( ионография) при сравнительно высокой разрешающей способности является эффективным методом распределительного анализа. [17]
Для разработки вакуумной технологии исследований с ионными пучками и изучения состава молекулярных ионов при ионизации разных соединений урана привлекается электровакуумная лаборатория НКЭП при заводе № 632, руководимая известным специалистом проф. [18]
Реализация комбинированного модифицирования инструментальных твердых сплавов слаботочными ионными пучками в режиме ионной имплантации [132] направлена на решение задачи повышения стойкости твердосплавного режущего инструмента при обработке жаропрочных титановых сплавов на чистовых и получистовых режимах резания. В этих условиях основными причинами изнашивания твердых сплавов являются интенсивные физико-химические процессы адгезионного и диффузионного характера. [19]
Для реализации технологии упрочняющей обработки материалов комбинированными ионными пучками необходимо специальное оборудование, предусматривающее расположение нескольких катодов в вакуумной камере. В этом случае последовательность технологического процесса упрочнения аналогична техпроцессу ионной имплантации, приведенному в разделе 8.2. Отличие состоит в периодическом или последовательном включении в течение цикла ионно-лучевой обработки того или иного катода. При этом возможно использование композиционных катодов, что позволяет модифицировать поверхность многокомпонентными ионными пучками. [20]
В приборах конструкции Маттауха - Герцога все ионные пучки после масс-сепарации фокусируются в одной плоскости. В этом случае детектором может служить фотографическая пластина, которая одновременно регистрирует все ионные пучки. [22]
Это означает, что при указанных параметрах ионные пучки, отличающиеся на единицу массы с массовым числом 1149, 1150 и 1151, могут быть полностью разрешены. [23]
Максимальными значениями энергозапаса и плотности мощности характеризуются ионные пучки, предназначенные для использования в экспериментах по инициированию термоядерного синтеза. Полная энергия, выделяемая ими в мишени, должна составлять 1 - ь 10 МДж при длительности импульса тока в несколько десятков наносекунд. В случае накачки мощным ионным пучком требования снижаются и решение задачи осуществимо на сильноточном ионном ускорителе среднего класса. [24]
![]() |
Упругое столкновение тяжелого иона с ядром-мишенью. [25] |
Дифракционная картина наблюдается и при взаимодействии образца с ионными пучками. [26]
В последние годы некоторые исследователи для ионного распыления материалов начали применять интенсивные ионные пучки, а также устройства со вспомогательной камерой, в которой генерируется плазма высокой плотности ( токи 50 - 60 А) и откуда диффундирует в главную, распылительную камеру. В результате приложения сильного магнитного поля плазма выходит из ионизационной камеры в виде относительно узкого пучка. [27]
Фазовый состав и износостойкость приповерхностных слоев твердого сплава WC-Co, облученного газометаллическими ионными пучками / / Физика металлов и металловедение. [28]
Разделенные по массам ( точнее по М / е) и сфокусированные ионные пучки необходимо принять каждый в отдельный, по возможности замкнутый, объем ( приемный карман - 6, 7 на рис. 7.1.1), вход в который размещен в фокусе соответствующего ионного пучка. От приемных карманов должно отводится выделяющееся тепло, необходима возможность контроля качества фокусировки ионных пучков, точности наводки масс-спектра на соответствующие карманы и его удержания в оптимальном положении в течение всего процесса накопления. Карманы должны быть сделаны с учетом интенсивного катодного распыления поверхностей, принимающих ионы, и защищены от загрязнения другими изотопами или не разделенным веществом. Все эти функции выполняет ионный приемник - второй важный узел сепаратора. Приемник обычно представляет собой жесткий блок изолированных друг от друга ( или не изолированных) карманов ( коробок), смонтированный на платформе, способной перемещаться в направлении продольной оси прибора ( указано стрелкой на рис. 7.1.1) для совмещения входов в карманы с фокусами ионных пучков. Реперные электроды 8 позволяют контролировать положение спектра, качество фокусировки, правильность наводки. [29]
![]() |
Схема установки магне-тронного распыления.| Схема установки бинарного ионно-стимулированного осаждения нитридных пленок. [30] |