Ионная пучка
Cтраница 4
Так как для создания сверхтонких базовых слоев легирование должно проводиться на очень малые глубины, то с этой целью, возможно, удастся использовать обработку полупроводника ионными пучками. Дело в том, что в структуре алмаза имеются определенные кристаллографические направления, по которым ионы с малой энергией могут относительно свободно перемещаться между атомами кремния или германия, проникая при этом на относительно большую глубину и не создавая структурных дефектов. [46]
Как видно из рис. 6.9, для вытягивания ионов ионизационный ( анодный) коробок имеет две щели и две независимые системы вытягивающих и ускоряющих линз, фокусирующих ионные пучки в двух противоположных направлениях. Благодаря симметрии источника ионов градиент вытягивающего поля в области образования ионов невелик. Это способствует получению ионных пучков с небольшим разбросом начальных скоростей - При симметричной системе анодного коробка более высокие потенциалы, приложенные на вытягивающие линзы, слабо влияют на повышение градиента электрического поля в центре образования ионной плазмы. Напряжение на вытягивающих линзах 400 - 450 в заметно не ухудшает моноэнергетичности ионных пучков. [47]
 |
Спектр изотопов ртути, полученный масс-спектрометром типа МИ-1305. Цифры указывают массы изотопов. [48] |
При изменении либо величины магнитного поля ( при постоянном ускоряющем напряжении), либо величины напряжения ( при постоянном магнитном поле) на коллектор ионов поочередно направляются ионные пучки всех масс, принадлежащих исследуемому образцу. Ионные токи этих пучков, измеренные после соответствующего усиления, являются критерием содержания компонент в образце. [49]
В случае масс-спектрометров, предназначенных для непрерывных измерений в промышленности ( пробы известной и неизменной природы), часто используется прибор мультиколлектор, что позволяет одновременно и непрерывным способом наблюдать различные характерные ионные пучки исследуемых компонентов. [50]
Колебания напряженности магнитного поля, ускоряющего по - тенциала, давления в вакуумной камере масс-спектрометра, рассеивающее действие объемного заряда ( взаимное отталкивание одноименно заряженных ионов), а также ряд других факторов размывают ионные пучки и вызывают дополнительное их перекрытие. [51]
В двухлучевых масс-спектрометрах на выходе усилителей постоянного тока имеется мостовая компенсационная схема, позволяющая с помощью декадного делителя напряжения и чувствительного гальванометра, включенного по схеме нулевого индикатора, выполнять несколько операций, а именно: измерять отношение интенсивности одиночной линии к напряжению дополнительной батареи; или определять отношение интенсивностей двух ионных пучков, принимаемых одновременно: или, пользуясь специальным прецизионным измерительным прибором, измерять поочередно два ионных пучка на одном и том же канале усилительного тракта, настраивая поочередно с помощью плавного изменения тока электромагнита или ускоряющего напряжения измеряемые ионные пучки на приемную щель одного из усилительных каналов. [52]
СИР-спектрометрия ионного рассеяния; ИНС - ионно-нейтрализационная спектроскопия; ИМАР - ионный микрозонд с анализом рентгеновских лучей; ПИР - рентгеновское излучение, создаваемое протонами. Ионные пучки вызывают наибольшие изменения в поверхностном слое [ 1, с. [54]
Отсюда следует, что метод сканирования является предпочтительной технологией, поскольку в нем максимальное пространственное разрешение будет определяться диаметром сфокусированного пучка, падающего на образец. Ионные пучки так же просто можно фокусировать и сканировать, как и электронные пучки, поэтому и метод ВИМС тоже может быть преобразован в сканирующую микроскопию. [55]
Принцип легирования ионным пучком как и электронно-лучевая обработка заключается в преобразовании кинетической энергии ионов в тепловую, но при этом процессе происходит перенос не энергии, а вещества и внедрение его в кристаллическую решетку полупроводников. Ионные пучки не удается фокусировать как электронные, а следовательно, нельзя получить ионный пучок с большой поверхностной мощностью. [56]
 |
Плотность упаковки элементов электронной аппаратуры. [57] |
Намечаются изменения технологии при изготовлении микросхем, большую роль будут играть электронные и лазерные лучи, сразу же рисующие на полупроводниковом кристалле радиосхемы. А возможно ионные пучки, сфокусированные из паров того или иного чистого вещества, перемещаясь по подложке, будут оставлять след в виде тонких пленок собственных молекул. [58]
И у нас в Дубне, и в США идут опыты по синтезу 106-го элемента, которые, возможно, в ближайшем будущем приведут к его открытию. Мы используем ионные пучки таких элементов, как цинк, германий, ксенон, ускоряя их на тандеме двух дубненских циклотронов. Эти эксперименты тоже в конечном счете преследуют синтетические цели. [59]
Страницы: 1 2 3 4