Ионная пучка

Cтраница 3

При ионно-лучевой обработке выбивание атомов мишени происходит за счет бомбардировки ее поверхности ионными пучками. На рис. 4.12 приведена схема установки бинарного ионно-стиму-лированного осаждения нитридных пленок. [31]

Распыление тонких пленок с использованием ионной бомбардировки может быть проведено и в непрерывных ионных пучках. [32]

С помощью электрической системы регистрации можно с большей или меньшей скоростью поочередно регистрировать ионные пучки, тогда как фотодетектор интегрирует их одновременно. В настоящее время в искровой масс-спектрометрни практически повсеместно используется фоторе-гистрацня спектров масс, поэтому в последующих разделах ей будет уделено основное внимание. [33]

Наконец, для формирования рисунка тонкопленочных микросхем перспективными представляются методы непосредственного воздействия на тонкопленочную структуру электронными, лазерными и ионными пучками, позволяющие вообще отказаться от маскирования с помощью шаблонов и резисторов. [34]

Схемы обычного приемника ионов с анти-динатронным экраном ( а, приемника ионов с тормозящим потенциалом ( б. [35]

Иногда в масс-спектрометрах перед щелью коллектора ионов устанавливают специальные электроды, создающие электрическое поле, тормозящее ионные пучки. [36]

Возможно, при более низких температурах ионы магния и свинца или олова, соединяясь, образуют ионные пучки, как в расплавленных солях, приводя к относительно высокой вязкости. При повышении температуры эти пучки разрушатся; более легко это может произойти в Mg2Pb, у которого энтальпия образования ниже, чем у Mg2Sn, и это ведет к большей температурной зависимости вязкости. Удельное сопротивление в каждом случае зависит прежде всего от гетерополяр-ной связи, на которую нагревание мало влияет в том же температурном интервале. [37]

Показана возможность осаждения пленок окиси алюминия как в области высокочастотного кольцевого разряда, так и в ионных пучках, вытянутых из области разряда триизопропилата алюминия. [38]

Несмотря на то, что вторичные процессы, происходящие на поверхностях коллектора и щелей при облучении их ионными пучками, еще плохо изучены, на основании многочисленных данных, полученных опытным путем, выявлены рекомендации, которые используют при совершенствовании и эксплуатации ионных приемников. Соблюдение этих рекомендаций почти всегда обеспечивает стабильную работу приемного устройства. [39]

Схема расположения электродов источника ионов. [40]

С-62 выполнен по типу распространенного источника ионов с ионизацией электронным ударом и имеет две щелевые ионнооптические системы, позволяющие вытягивать ионные пучки из ионной плазмы в противоположных направлениях. При этом, регулируя вытягивающий потенциал с любой стороны источника, можно плавно менять величины ионных токов обоих пучков. [41]

Поскольку в практике масс-спектрометрии в приборе МС-62 работа ионного источника на два масс-анализа-тора встречается впервые, невольно возникает сомнение: достаточно ли стабильны раздельные ионные пучки, вытягиваемые из общей ионной плазмы. Испытания нескольких разновидностей двухлучевого ионного источника показали, что стабильность во времени ионных пучков у нового источника не хуже, чем у обычных однощелевых. Кроме того, экспериментально установлено, что изменение давления в источнике сопровождается пропорциональным изменением ионных токов в обоих пучках. Зависимость ионного тока в пучке от ионизирующего напряжения близка к обычным источникам. С увеличением тока эмиссии электронов общий ионный ток линейно растет, а ионные токи в пучках несколько перераспределяются. На величину ионного тока, как и у обычных источников, наибольшее влияние оказывает потенциал вытягивающей линзы. С помощью раздельной регулировки вытягивающего потенциала для обоих пучков можно установить любое соотношение их интен-сивностей. [42]

На первый взгляд могло бы казаться, что самым совершенным и универсальным способом разделения изотопов должен быть масс-спектрометр и - ческий, В этом приборе ионные пучки изотопов полностью разделяются и могут быть собраны без особого труда, каждый в отдельности, в специальных коллекторах. Однако простой расчет показывает, что производительность обыкновенных масс-спектрометров, применяемых в изотопном анализе, ничтожна, так как в них ионные пучки переносят количества ионов, которые можно считать практически невесомыми. [43]

Этот тип откачки с помощью электрического поля впервые наблюдался в 1937 г. Пеннингом [128] в ионных манометрах Мано метры Пеннинга так же, как и моноэнергетические ионные пучки широко используются для изучения механизмов захвата ионов при различных условиях эксперимента. В последней статье суммированы известнЫе из литературы данные об эффективности захвата инертных газов в зависимости от материала мишени, температуры и энергии ионов. Эта информация имеет большой практический интерес, поскольку геттерная откачка инертных газов целиком определяется процессами активации в электрическом поле. [44]

В настоящее время разработано много методов синтеза меченых соединений: прямой химический синтез, синтез изотопным обменом, синтез методом атомов отдачи, синтез в молекулярных и ионных пучках, синтез при ( 5-распаде и биосинтез. [45]

Страницы: 1 2 3 4