Cтраница 2
Соответственно и при выходе из диспергирующей системы пучок также имеет дифракционное распределение, но величины всех углов его изменены в результате углового увеличения системы. [16]
Ограничение диапазона измеряемых размеров связано в основном со снижением интенсивности дифракционного распределения при уменьшении измеряемого размера, с одной стороны, и с уменьшением угловых размеров дифракционных максимумов и трудностью их разрешения при увеличении размера объекта - с другой. [17]
В последние годы рядом авторов были проведены детальные аналитические исследования дифракционного распределения интенсивности освещения в плоскости фоторезиста. [18]
Поскольку дифракционное распределение интенсивности от отверстий имеет вид, аналогичный дифракционному распределению от провода или щели, описанные приборы могут использоваться для контроля их диаметра и формы. Однако освещенность дифракционных максимумов при этом будет значительно ниже. Для увеличения их освещенности целесообразно увеличивать с помощью оптики плотность лазерного излучения в области отверстия, а также использовать более мощные лазеры. Кроме того, возникает необходимость обеспечения линейного сканирования дифракционных колец через их центр, для чего используют вместо щелевой диафрагмы перед фотоприемником точечную диафрагму либо видикон. [19]
Возможности дифракционных измерителей в сильной степени зависят от выбора регистрируемых параметров дифракционного распределения, по которым судят об измеряемом размере. [20]
Анализ возможностей дифракционных способов целесообразно начать с рассмотрения зависимости регистрируемого параметра дифракционного распределения от размера объекта. [21]
К определению разности хода при дифракции на решетке с полной длиной И. [22] |
Легко видеть, что это есть условие, определяющее направления на минимумы дифракционного распределения при дифракции на прямоугольном отверстии шириной 1Г ( ср. [23]
Дифракционные способы измерения основаны на анализе линейного или углового размера между экстремальными точками дифракционного распределения. Основными преимуществами такого способа измерения являются повышение чувствительности при уменьшении измеряемого размера, незави симость результата измерения от мощности источника излучения. [24]
Схемы лазерных измерителей линейных размеров. [25] |
Дифракционные способы измерения основаны на анализе линейного или углового размера между экстремальными точками дифракционного распределения. Основными преимуществами такого способа являются повышение чувствительности при уменьшении измеряемого размера, независимость результата измерения от мощности источника излучения. [26]
Геометрнческое определение направления на дифракционные. [27] |
Таким образом, в случае фазовой решетки ( в отлично от амплитудной) максимум дифракционного распределения интенсивности может совпадать с максимумом спектра порядка, отличного от нулевого. [28]
Графцк функщш дифракционного распределения. [29] |
Полученное выражение для распределения интенсивности по углам при дифракции на прямоугольном отверстии называется дифракционным распределением. [30]