Дифракционное распределение

Cтраница 3

Блок обработки электрического сигнала формирует прямоугольный импульс, длительность которого однозначно связана с расстоянием между выбранными минимальными точками дифракционного распределения. Обычно в приборе используется объектив, обеспечивающий Величину дисторсии в пределах 0 2 % при смещениях объекта измерения в пределах 5 мм вдоль пучка излучения и 2 5 мм - поперек пучка. При этом погрешность измерителя не превышает 0 5 % при смещениях объекта в указанных пределах. [31]

Так как интенсивность и когерентность в поперечном сечении лазерного пучка непостоянны, при смещении изделия изменяются характеристики облучающего поля, что влияет на дифракционное распределение и результат измерения. Уменьшить это влияние можно соответствующим формированием луча и выбором режима работы лазера, в результате чего неоднородность свойств в поперечном сечении луча минимальна. [32]

Дифракционное распределение освещенности. [33]

Данные рис. 5 - 20 показывают, что качество и точность воспроизведенных пленкой фоторезиста элементов зависят не только от величины элемента зазора и соответствующего дифракционного распределения света, но и от выбора общей экспозиции. [34]

Выше мы показали ( см. § 1.3), что в случае безаберрационной фокусирующей оптики и при хорошем качестве других оптических деталей это есть дифракционное распределение (1.39) с полушириной ад. При наличии аберраций происходит совместное действие дифракции и аберраций, причем в силу волновой природы света нельзя рассматривать порознь влияние дифракции и аберраций на распределение энергии в изображении. Если ширина чисто аберрационного пятна рассеяния ха ( рассчитанного без учета действия дифракции) много меньше ад, то аберрациями можно пренебречь, а распределение энергии близко к диффракционному. Если же, наоборот, аа ад, то можно пренебречь дифракцией, а распределение энергии в изображении близко к аберрационному, отличающемуся от дифракционного. [35]

Проведенный анализ показывает, что описанный способ выгодно отличается от предыдущего и что возможности дифракционного измерителя в сильной степени определяются рациональным выбором регистрируемых параметров дифракционного распределения, по величине которых судят о значении измеряемого размера. [36]

Зависимость размера / от размера D при различных значениях фокусного расстояния f. [37]

Для увеличения быстродействия, точности и удобства измерения размера изделия при сохранении всех других отмеченных достоинств способа измерения размеров по расстоянию между экстремальными точками дифракционного распределения целесообразно преобразовывать дифракционное распределение в электрический сигнал, выделять его экстремальные точки и измерять временной интервал между экстремальными точками электрического сигнала, соответствующего дифракционному распределению. [38]

Наибольший практический интерес представляют устройства, использующие предварительное преобразование дифракционного распределения в электрический сигнал с последующим его автоматическим анализом и выделением информации о расстоянии между экстремальными точками дифракционного распределения. Такие устройства позволяют повысить точность, быстродействие и автоматизировать процесс измерения. Следует заметить, что из-за многоступенчатого преобразования сигнала в таких устройствах не всегда удается с достаточной точностью расчетным путем связать абсолютное значение измеряемого размера с показаниями оконечного регистрирующего прибора и такие измерители, как правило, нуждаются в предварительной калибровке. В измерителях этого типа чаще всего осуществляют измерение временного интервала, соответствующего расстоянию между выбранными экстремальными точками электрического сигнала, описывающего дифракционное распределение. Ниже приводится описание наиболее перспективных измерительных устройств. [39]

Электрический сигнал, полученный с ФЭУ и соответствующий распределению интенсивности в дифракционной картине, поступает в усиливающий и преобразующий блок 11, где происходит формирование прямоугольного импульса, длительность которого соответствует расстоянию между экстремальными точками дифракционного распределения. [41]

Модель опыта Г. Бибермана, Н. Суш-кина, В. Фабриканта по дифракции электронов.| Модель опыта по дифракции электронов на двух щелях. [42]

С точки зрения классической физики, рассматривающей частицу как точку или шарик, каждый электрон может проходить или через щель 1, или через щель 2, Тогда при движении потока электронов одновременно через две щели на экране В должно было бы образоваться наложение двух дифракционных распределений. В действительности этого не происходит. [43]

В большинстве случаев анализируют дифракционное изображение объекта в фокальной плоскости объектива, что позволяет получить необходимый размер дифракционного изображения и уменьшить влияние положения измеряемого объекта на результат измерения. Дифракционное распределение интенсивности, получаемое в фокальной плоскости идеального объектива, инвариантно к смещениям измеряемого изделия, расположенного перед ним. [45]

Страницы: 1 2 3 4