Газотранспортная реакция

Cтраница 2

Одним из важнейших этапов исследования процессов роста с помощью газотранспортных реакций является изучение процесса переноса вещества. [16]

Одним из приемлемых способов получения таких соединений является кристаллизация с помощью газотранспортных реакций. [17]

Установлено, что применение избытка мышьяка в процессе выращивания монокристаллов методом газотранспортных реакций приводит к некоторому понижению концентрации дырок в сплавах, при этом в несколько раз возрастает подвижность носителей заряда. [18]

Как указывается в работе [41], в случае нитридов ( бинарных) газотранспортные реакции протекают очень медленно, что обусловлено высокой стабильностью молекул азота и малыми скоростями гетерогенной реакции. В этом случае скорость переноса определяется лишь скоростью упомянутой выше реакции, а рост кристаллов происходит очень медленно. [19]

Кроме работ, рассмотренных в монографии [14] и частично посвященных применению метода газотранспортных реакций для получения монокристаллов и монокристальных пленок разнообразных соединений, в последние годы появилось много публикаций с более или менее удачными попытками количественной оценки переноса в различных системах. В настоящее время это направление усиленно развивается. [20]

Правильно подобранная скорость переноса имеет очень большое значение при выращивании кристаллов методом газотранспортных реакций. В случае слишком высокой скорости переноса в зоне кристаллизации пересыщение достигает такой величины, что начнут возникать новые зародыши и будет образовываться поликристаллический слиток. Слишком низкие скорости переноса отрицательно сказываются на размерах кристаллов, значительно увеличивая продолжительность опыта. [21]

Схема установки для вертикальной зонной плавки разлагающихся соединений. [22]

Разработаны методы получения эпитаксиальных слоев и тонких пленок арсенида галлия с использованием газотранспортных реакций. [23]

Впервые в СССР применила ( 1959) для синтеза тугоплавких соединений метод химических газотранспортных реакций и синтезировала на его основе ( совместно с Б. П. Соболевым) монокристаллы силикатов бериллия, цинка, алюминия, марганца. Проводит исследования по химии полупроводниковых материалов - халькогени-дов II, IV и V групп периодической системы элементов. [24]

В последнее время находит все возрастающее применение для выращивания монокристаллов различных соединений метод газотранспортных реакций. Представляя собой одну из разновидностей методов выращивания кристаллов из газовой фазы, газотранспортные реакции обладают тем преимуществом, что могут протекать при сравнительно низких температурах. Это обстоятельство весьма ценно при получении монокристаллов тугоплавких полупроводников. Кроме того, газотранспортные реакции являются перспективными для выращивания кристаллов веществ, плавящихся инконгруэнтно, так как рост кристаллов может происходить в этом случае при температурах, значительно более низких, чем температура плавления соединения. [25]

Так, при замене вертикального расположения реактора для роста эпитаксиальных слоев кремния методами газотранспортных реакций на горизонтальное, равно как и при изменении размеров такого реактора, меняются ( и весьма значительно) все технологические параметры процесса. Это связано с характером движения газовых потоков в системе. Аналогичная картина наблюдается и при замене, например, резистивного нагрева кассет с подложками на разогрев их токами высокой частоты. Ответить на возникающие при этом вопросы можно только с помощью специальных экспериментов, которые необходимо проводить на каждом этапе масштабирования и при каждом, даже кажущемся очевидным и разумным изменении конструкции технологического оборудования. [26]

Для получения гомогенных монокристаллических образцов указанных твердых растворов различного состава был применен метод газотранспортных реакций в закрытой системе в кварцевых ампулах. [27]

Характер масштабной за - б, KZC / IMZ висимости прочности при 20 С от диаметра НК Si. [28]

НК кремния выращивались мето - О в 12 / 8 2ч за дом химических газотранспортных реакций. Исследование механических свойств НК кремния осуществлялось деформированием на растяжение при непрерывной автоматической записи диаграмм растяжения на специально сконструированной установке, позволяющей проводить исследования при температуре от 20 до 800 С в атмосфере азота. [29]

Схематичное изображение процесса получения сплавного р-л-пере. [30]

Страницы: 1 2 3 4