Рост - толщина - покрытие
Cтраница 1
Рост толщины покрытия в краевой зоне связан с формированием стационарного угла смачивания. [1]
С ростом толщины покрытий в них явно прослеживается текстура. Формирование текстуры связано с тем, что в процессе роста покрытия структура ее стремится перераспределиться так, чтобы ориентирование зерен обеспечивало минимум энергии Гиббса. Для покрытий TIN более характерно образование текстуры ( 111), при которой параллельно поверхности располагается плоскость максимальной атомной плотности. Определяющее влияние на текстуру покрытия оказывают процессы распыления. Минимальное распыление имеет место вдоль направлений, благоприятных для каналирования ионов, причем разница в значениях выхода распыления может достигать сотен процентов. Преимущественная ориентация плоскостей ( 100) параллельно поверхности кристалла благоприятно сказывается на адгезии покрытий. [2]
С ростом толщины покрытий в них явно прослеживается текстура. Формирование текстуры связано с тем, что в процессе роста покрытия структура ее стремится перераспределиться так, чтобы ориентирование зерен обеспечивало минимум энергии Гиббса. Для покрытий TiN более характерно образование текстуры ( 111), при которой параллельно поверхности располагается плоскость максимальной атомной плотности. Определяющее влияние на текстуру покрытия оказывают процессы распыления. Минимальное распыление имеет место вдоль направлений, благоприятных для каналирования ионов, причем разница в значениях выхода распыления может достигать сотен процентов. Преимущественная ориентация плоскостей ( 100) параллельно поверхности кристалла благоприятно сказывается на адгезии покрытий. [3]
 |
Кривые роста фазы I в покрытии. [4] |
При линейном законе роста толщины покрытия концентрация вещества подложки на поверхности покрытия уменьшается тем быстрее, чем больше скорость роста толщины покрытия. Вначале диффузия протекает только в одной фазе, а затем последовательно появляются другие фазы. Цри конечной скорости роста толщины покрытия рост фазы в Покрытии происходит быстрее, чем при диффузии в полубескрнечном пространстве. Таким образом, при образовании покрытий по линейному закону распределение фаз более растянуто, чем при диффузии в полубесконечном пространстве. Этот эффект подобен эффекту косого среза. Такое распределение фаз в покрытиях позволяет выращивать в составе покрытий фазы с узкой областью гомогенности. Использование более сложных законов роста или последовательная комбинация простых обеспечивает возможность образования покрытий с заранее заданным распределением фаз по толщине покрытия. [5]
Как уже отмечалось, с ростом толщины покрытия заметно возрастает дефектность его строения, в частности возрастает число пор, что оказывает влияние на окисляемость инструментальных материалов. В табл. 16 приведены данные по исследованию влияния покрытий различной толщины на окисляемость твердых сплавов. Видно, что при малых толщинах покрытия ( около 1 мкм) окисляемость твердых сплавов изменяется незначительно. Однако уже при толщинах покрытия около 3 мкм заметно повышается сопротивляемость твердого сплава окислению, причем наблюдается непрерывное увеличение этого эффекта вплоть до толщин 10 мкм. Дальнейшее увеличение толщины покрытия приводит к снижению сопротивляемости твердых сплавов окислению. Для толстых покрытий, подвергнутых нагреву на воздухе при температурах 900 - 1200 С, наблюдается появление значительных повреждений на поверхностях и в объеме. [6]
Таким образом, увеличение та с ростом толщины покрытия ( см. рис. 65) в основном является результатом неравномерного отрыва штифта от покрытия. [7]
Скорость электрохимической реакции определяется массой осажденного металла или ростом толщины покрытия в единицу времени. [8]
Кислотные растворы для химического оксидирования не обеспечивают стабильную скорость роста толщины покрытий. Этого недостатка лишены щелочные растворы, хотя скорость осаждения покрытий из них ниже, чем из кислотных. [9]
Если в покрытии имеются внутренние напряжения, то с ростом толщины покрытия упругая сила Р6сгв 1, стремящаяся отслоить покрытие от подложки, растет. Это приводит к снижению усилия отслаивания с ростом толщины покрытий. [10]
 |
Зависимость прочности сцепления покрытия из стабилизированной двуокиси циркония от вида подготовки поверхности и толщины. [11] |
Как и следовало ожидать, во всех случаях с ростом толщины покрытия прочность его сцепления с подложкой уменьшается. Существенную роль играет вид обработки поверхности перед нанесением покрытия. Дробеструйная обработка с последующим нанесением подслоя нихрома обеспечивает более высокую прочность сцепления по сравнению с другими испытанными способами подготовки поверхности. Максимум прочности сцепления при предварительном подогреве поверхности отмечается до 180 - 200 С. [12]
Таким образом, при нанесении покрытия на диффузионно-активную подложку закон роста толщины покрытия в предельных случаях либо линейный, либо параболический. Очевидно, что в процессе нанесения покрытия соотношение между dQ / dt и dQD / dt может изменяться, так как dQDjdt зависит от времени. В результате при нанесении покрытий возможны случаи, когда закон роста на разных этапах будет неодинаков. Линейность закона роста соблюдается только в том случае, когда dQjj / dt мало и этим членом можно пренебречь. Во всех других случаях закон роста должен описываться по крайней мере квадратичной во времени зависимостью. Анализ таких зависимостей выполнен ниже. [13]
Рр, необходимая для разрушения той же адгезии, с ростом толщины покрытия увеличивается. [14]
 |
Образование оксида на поверхности металла. d - толщина оксида. 1 - воздух. 2 - граница фаз. [15] |
Страницы: 1 2 3 4