Скорость - травление
Cтраница 2
 |
Зависимость клина травления SiO2 от угла смачивания водой. [16] |
Скорость травления SiO2, легированного бором, при приближении к границе раздела с кремнием резко возрастает ( примерно на 550 нм от исходной поверхности) ( рис. 6 - 4 6), следовательно, увеличивается наклон стенки профиля. Это увеличение скорости травления вызывается уменьшением концентрации бора по толщине пленки. [17]
Скорость травления зависит от температуры и концентрации алюминия в растворе. Тогда скорость травления может быть равной 25 - 35 мм / мин. При накоплении в растворе 80 - 90 г / л алюминия скорость травления падает в 4 - 5 раз и такие растворы сливают, как негодные. [18]
Скорость травления как в серной, так и в соляной кислоте значительно возрастает с повышением температуры. [19]
Скорость травления возрастает с увеличением температуры, причем в большей степени в растворе серной кислоты, чем в соляной. Практически температура травильных растворов соляной кислоты не превышает 40 С из-за ее летучести; температуру серной кислоты можно увеличить до 60 - 80 С. [20]
Скорость травления в нем зависит от температуры процесса, структуры и кристаллографической ориентации поверхности полупроводника. Однако она не зависит от вязкости травителя и условий его перемешивания. [21]
 |
Зависимость скоростей высокочастотного катодного травления слоев фоторезиста KTFR, пленок SiOL и Cr-SiO от подводимой мощности У1. [22] |
Скорости травления остаются постоянными в течение продолжительного времени травления. Тсуи [139] отметил, что скорости травления имеют тенденцию к возрастанию, если температура поверхности пленок превышает 200 С. Окончание процесса удаления пленок устанавливают по изменению отражательной способности или по цвету поверхности. В некоторых случаях удаляемый материал совершенно отчетливо придает тлеющему разряду различный оттенок. Например, в процессе катодного травления пленок Сг-SiO плазма имеет голубоватый оттенок, который при полном удалении пленки изменяется и становится багрово-красным. [23]
Скорость травления пиролитичеоки осажденных пленок лежит в пределах 150 - 600 А / мин. [24]
Скорость травления увеличивается с повышением температуры; при травлении в растворах серной кислоты влияние температуры сильнее, чем при травлении в растворах соляной кислоты. [25]
Скорость травления пиролитичеоки осажденных пленок лежит в пределах 150 - 600 А / мин. [26]
Скорость травления увеличивается с повышением температуры; при травлении в растворах серной кислоты влияние температуры сказывается сильнее, чем при травлении в растворах соляной кислоты. [27]
Скорость травления до 120 м / мин. [28]
Скорость травления как в серной, так и в соляной кислотах значительно повышается с возрастанием температуры. Оптимальной для серной кислоты является температура 50 - 60 С, а для соляной 30 - 40 С, так как при большем ее нагревании возможно выделение хлороводорода. [29]
Скорость травления в серной кислоте повышается с увеличением концентрации, но до определенного предела, выше которого она снова начинает падать. Оптимальной концентрацией следует считать 20 - 25 % - ный раствор серной кислоты. Подогрев раствора интенсифицирует процесс травления. [30]
Страницы: 1 2 3 4 5