Скорость - травление
Cтраница 4
Скорость травления при этом будет самой большой на тех участках, которые ближе всего к катоду. Использование катодов различной формы позволяет вытравливать отверстия соответствующей конфигурации. Например, катод в форме проволоки позволяет проводить резку пластин германия. Когда такая перегородка помещается между анодом и катодом, то отверстия начинают играть роль катодов и обеспечивают местное травление. [46]
Скорость травления практически определяется наименьшей единичной скоростью. [47]
 |
Зависимость скорости осаждения пленок окиси алюминии от скорости и состава потока гааа-носителя ( объсмн. %. [48] |
Скорость травления их высокая. Так, пленки А120Я, осажденные в кислороде, травились в фосфорной кислоте при 5 5 С со скоростью 200 и 325 А Амин для скоростей осаждения 33 и 330 А / мин соответственно. [49]
 |
Зависимость скорости травления пленок SK.. от длительности термической обработки. [50] |
Скорость травления падает в течение первых 20 мин. Подобная картина наблюдается и при других условиях термообработки. [51]
Скорость травления изменяется с изменением концентрации РеС13, температуры, химических добавок и интенсивности перемешивания. В травильной машине с распылением раствора под давлением медь номинальной толщины 35 мкм должна полностью стравливаться в свежем растворе хлорного железа плотностью 42 Боме при 38 С в течение 1 - 1 5 мин. [52]
 |
Зависимость длительности травления от концентрации растворенной меди при использовании в качестве травителя раствора FeCl3 с плотностью по 42 Боме, разбавленного водой и соляной кислотой ( 30 %. [53] |
Скорость травления значительно возрастает при применении для перемешивания воздуха или при травлении распылением. [54]
Скорость травления составляет около 75 мкм / мин при 80 С. [55]
Скорость травления в Нг5О4 в основном зависит от температуры. [56]
Скорость травления возрастает с повышением температуры. [57]
Скорость травления меди зависит от состава травителя, концентрации в нем окислителя и условий его доставки в зону обработки, температуры раствора и количества меди, перешедшей в раствор. [58]
Скорость травления кремния в серебряно-гликолевом травителе показана на фиг. [59]
Скорость травления хрома мала. [60]
Страницы: 1 2 3 4 5