Cтраница 5
Скорость травления алюминия сохраняется практически постоянной, если объем раствора достаточно велик, в нем не происходит заметного накопления алюминия и температура раствора не меняется. На скорость травления алюминия большое влияние оказывает температура: чем выше температура раствора, тем больше скорость травления. [61]
Скорость травления органических резистов повышается при использовании УФ-излучения, которое всегда сопровождает тлеющий разряд. Скорость травления полимерных материалов выше в плазме, которая одновременно содержит фторированные углеводороды и кислород [126], что можно объяснить образованием связи кислорода с реакционными центрами, возникающими при отщеплении атомов водорода фтором, и последующей окислительной деструкцией. [62]
Скорость травления поверхности металла зависит от кислотности рабочего раствора и от содержания в нем ионов железа. Эти показатели определяют в целях корректировки травильных растворов. NaOH и выражают в точках. В колбу помещают 10 мл раствора и титруют в присутствии фенолфталеина. Число точек - количество мл NaOH, израсходованное на титрование. [63]