Высокая скорость - осаждение
Cтраница 3
Скорость осаждения твердой фазы суспензии играет двоякую роль Б вопросах выбора типа оборудования. С одной стороны, высокая скорость осаждения твердой фазы позволяет использовать для разделения суспензий процесс осаждения вместо процесса фильтрования. Если достаточно полного разделения суспензии не происходит в процессе осаждения, то путем предварительного сгущения суспензии достигается интенсификация последующего процесса фильтрования. [31]
Хотя пленки USG имеют много общих свойств с пленками термического окисла, но они обладают также специфическими особенностями, которые расширяют их сферу применения. Превосходное покрытие топологического рельефа и высокие скорости осаждения при низких ( 450 С) температурах, которые выдерживает алюминиевая металлизация, делают их незаменимыми при формировании межслойной изоляции ( IMD) в ИМС. Даже при осаждении диэлектрика между транзисторами и первым слоем металлизации ( PMD) требуется снижение термического бюджета, чтобы уменьшить диффузию легирующих примесей при повышении степени интеграции ИМС. [32]
Достоинствами метода являются: реализация высоких скоростей осаждения материалов в высоком вакууме, простота, отработанность технологических операций и наличие современного высокопроизводительного оборудования. [33]
Большое значение имеет размер пылевых частиц, например мелкие частицы пыли размером меньше 0 25 мкм, попадая при вдыхании в легкие, почти не задерживаются в них вследствие малой скорости оседания и выдыхаются с воздухом обратно. Частицы пыли крупнее 10 мкм обладают довольно высокой скоростью осаждения, поэтому они оседают в верхних дыхательных путях: носовой полости и носоглотке. Наиболее опасны частицы пыли размером от 0 25 до 10 мкм. Они не успевают осесть в верхних дыхательных путях и, попадая в легкие, не выдыхаются с воздухом обратно. Накапливаясь в тканях легких, они при длительном воздействии на легочную ткань приводят к пневмокониозам. Большое влияние на степень развития пневмокониозов оказывает механическая твердость пыли, ее форма и растворимость. Так, в частности, опасность кварцевой пыли связана с ее большой механической твердостью и способностью переходить в растворимое состояние и всасываться в организм. Форма пылинок обусловливает силу ее сцепления с тканью организма. Чем больше развита поверхность пылевых частиц, тем более прочной оказывается ее связь с тканями. Аналогичное значение имеет и степень электрозаряженности пыли - заряженные частицы значительно дольше задерживаются в организме, чем нейтральные частицы таких же размеров и формы. [34]
Термическим испарением в вакууме получают наиболее чистые пленки. Достоинствами этого способа являются простота напыления, высокая скорость осаждения пленок и возможность напыления различных металлов. Пленки из материалов сложного состава, которые имеют различные скорости испарения отдельных компонентов, получить этим способом сложно. [35]
На свойства пленок моноокиси кремния существенно влияют условия осаждения. Так, плотность пленок, полученных при высоких скоростях осаждения ( 2 5 - 3 0 гам / с), превышает плотность чистой моноокиси кремния, а электронографический анализ таких пленок выявляет наличие твердого раствора кремния. [36]
На рис. 38 показано изменение т0 в зависимости от содержания сульфонола в суспензии. С ростом содержания ПАВ увеличиваются значения т, что указывает на высокую скорость осаждения барита в суспензии вследствие образования из его частиц агрегатов - флокул. Это происходит из-за гидрофобизации поверхности утяжелителя суяьфонолом. [38]
 |
Схема устройства вакуум-фильтра. [39] |
Вакуум-фильтры с внутренней фильтрующей поверхностью применяются для фильтрации суспензии с разными по крупности частицами и высокой скоростью осаждения. [40]
Вольфрам менее склонен к образованию покрытий, содержащих углерод, или порошкообразных осадков при высоких температурах и давлениях, по сравнению с молибденом. В связи с этим могут использоваться широкие интервалы температур разложения и давлений, а следовательно, и высокие скорости осаждения пленок. [42]
В тех случаях, когда необходимые электроны освобождаются вследствие реакций окисления, идущих в растворе без помощи внешнего источника тока, имеет место химическая металлизация. Преимуществом химической металлизации является возможность осаждения металла на непроводящие подложки, а электрохимические покрытия отличает повышенная прочность сцепления и высокая скорость осаждения. [43]
Аппаратура и процесс аналогичны разработанным и применявшимся Ван-Лркслсм для очистки циркония и других металлов, но условия проведения процесса различны вследствие неодинаковой летучести иодидов. Для исходного ( загрязненного) тория поддерживается температура около 450, нить накала нагревается до температуры 1300 или выше, что обеспечивает высокую скорость осаждения. [44]
 |
Образование начальной дислокации вследствие напряжения несоответствия между тремя срастающимися эародслшамк. [45] |
Страницы: 1 2 3 4