Cтраница 4
Этот факт указывает на то, что процесс автолегирования не прекращается во время эпитаксиального наращивания, хотя лицевая поверхность источника запечатывается слоем кремния уже в первую минуту эпитаксиального нара-щявания. Подтверждением этого служит равномерный характер распределения мышьяка по толщине эпитаксиального слоя ( ряс. [46]
![]() |
Структура конденсаторов для биполярных ИМС. [47] |
МОП); / - верхняя обкладка; 2 - вывод нижней обкладки; 3 - изолирующий р-п переход; 4 - слой кремния р-типа; 5 - подложка л-типа; 6 - нижняя обкладка из кремния п - Ь - типа. [48]
Изучая механизм реакции прямого синтеза, Рохов выяснил роль меди как катализатора, наблюдая под микроскопом определенным образом уложенные в контактной трубке соприкасающиеся друг с другом слои кремния и меди. После двухчасового пропускания хлористого метила оказалось, что кремний, находящийся вблизи меди, вступает в реакцию; медь, находившаяся по соседству с кремнием, легче улетучивалась, что выражалось в размазывании вначале отчетливой границы между металлами. [49]
Алюминий был первым материалом, используемым для формирования металлизации микросхем, так как он имеет низкое удельное сопротивление ( р 2 65 мкОм см при Т 20 С) и хорошую адгезию к слоям кремния и его оксидов. [50]
![]() |
SO Электротехника. [51] |
Кремниевые вентили выполняются по следующей конструктивной схеме: одним из электродов в кремниевом вентиле - катодом служит наплавленный на кристалл кремния слой свинца в одних конструкциях или слой сплава серебра в других, затем идет слой кремния с проводимостью типа п, который отделен запирающим слоем от слоя кремния с проводимостью типа р, в который вплавлен алюминий. [52]
Кремниевые вентили выполняют-ся по следующей конструктивной схеме: одним из электродов в кремниевом вентиле - катодом служит наплавленный на кристалл кремния слой свинца в одних конструкциях или слой сплава серебра в других, затем идет слой кремния с проводимостью типа п, который отделен запирающим слоем от слоя кремния с проводимостью типа р, в который вплавлен алюминий. [53]
![]() |
Схематическое устройство термоэлектронного генератора.| Схематическое устройство солнечной батареи. / - контакты. 2 - слой кремния р-типа. 3 - пластина кремния л-ти-па. 4 - контактный слой. [54] |
Солнечная батарея набирается из отдельных элементов ( рис. 5.9), каждый из которых представляет собой пластину из монокристалла кремния n - типа, на поверхности которой создается тонкий ( 1 - 2 мкм) слой кремния р-типа. Под действием солнечного излучения в образующемся переходе появляются избыточные заряды, которые и обусловливают ток через нагрузку. Каждый элемент развивает ЭДС 0 35 - 0 4 В. При этом с 1 см2 рабочей площади солнечной батареи удается снять около 10 мВт мощности. [55]
Кроме того, используются диоды на основе р-п переходов и переходов металл - полупроводник ( диоды Шотки), полупроводниковые резисторы, пленочные резисторы ( в совмещенных микросхемах), изготавливаемые, например, в поликристаллическом слое кремния, и в редких случаях - конденсаторы небольшой емкости. Другие элементы формируются в аналогичных слоях одновременно с транзисторами. Использование пассивных элементов ( резисторов, конденсаторов) ограничено, так как по сравнению с транзисторами они занимают большую площадь на кристалле. [56]
![]() |
SO Электротехника. [57] |
Кремниевые вентили выполняются по следующей конструктивной схеме: одним из электродов в кремниевом вентиле - катодом служит наплавленный на кристалл кремния слой свинца в одних конструкциях или слой сплава серебра в других, затем идет слой кремния с проводимостью типа п, который отделен запирающим слоем от слоя кремния с проводимостью типа р, в который вплавлен алюминий. [58]
Кремниевые вентили выполняют-ся по следующей конструктивной схеме: одним из электродов в кремниевом вентиле - катодом служит наплавленный на кристалл кремния слой свинца в одних конструкциях или слой сплава серебра в других, затем идет слой кремния с проводимостью типа п, который отделен запирающим слоем от слоя кремния с проводимостью типа р, в который вплавлен алюминий. [59]
Электронно-дырочный переход силовых кремниевых вентилей ВК состоит из сверхчистого монокристаллического кремния электронной проводимости, в который с одной стороны вставлен алюминиевый сплав, а с другой - серебряный. Слой кремния с вплавленным алюминием является анодом, слой с вплавленным серебряным сплавом - катодом. Направление от алюминия к серебру - проводящее, обратное - запирающее. Кремниевый переход заключен в металлический корпус, защищающий его от влаги. Катод припаян к медному основанию, анод - к гибкому проводу. [60]