Изготовление - триод
Cтраница 1
Изготовление триодов единым циклом осуществимо только при температурах, достаточных для образования р-п - р структур. При более высоких температурах, необходимых для получения сплавных приборов п-р - п типа, взаимное растворение различных металлов, образующих конструкцию прибора, становится настолько заметным, что такой процесс изготовления невозможен. [1]
Изготовление триодов с двухслойной базой связано с рядом серьезных трудностей. После диффузии сурьмы, проводимой при температуре 800 С, проводимость слоя германия повышенного сопротивления приобретает дырочный характер. Поэтому необходим дополнительный отжиг для получения первоначального характера проводимости. После отжига пластинки характеризуются большим разбросом удельных сопротивлений. Практически это приводит к тому, что при одинаковом коллекторном напряжении у отдельных триодов образуется слой объемного заряда разной толщины, что в свою очередь приводит к различию частотных свойств триодов в одной партии. Индивидуальный подбор наивыгоднейшего напряжения на коллекторе неудобен при массовом выпуске. [2]
Для изготовления триодов с поверхностными барьерами были выработаны специальные приемы. На кристалл и - Qe с противоположных сторон направляются непрерывные струи электролита ( раствор сульфата индия), и между электродом, введенным в электролит, и Ое накладывается напряжение такого знака, что Ge электролитически стравливается и на его поверхности в месте попадания струек образуются две лунки. После достижения надлежащей глубины лунок знак напряжения меняется, на поверхности Ge начинает откладываться In и в результате получается структура, показанная в разрезе на рис. 599, а. [3]
Технология изготовления конверсионных триодов во многом сходна с технологией изготовления сплавных триодов. Для их изготовления применяется германий, в который вводятся донорная и акцепторная примеси. Такой метод позволяет изготовлять очень мощные высокочастотные триоды с большой площадью тонкого базового слоя. [4]
При изготовлении триодов в лабораторных условиях заготовки эмиттера и коллектора заостряют и изгибают следующим образом. Несколько метров электродной проволоки наматывают на тонкую прямоугольную оправку из плексигласа, как показано на фиг. Оправку зажимают между двумя пластинами из плексигласа, заливают метилметакрилатом, растворенным в хлороформе, и сушат при 80 С в течение 1 часа. Проволочки с заостренными концами отделяются от блока при погружении его на 24 часа в хлороформ, затем их промывают в чистом хлороформе. После этого эмиттерная и коллекторная проволочки присоединяются точечной сваркой к концам выводов в ножке триода, как показано-слева на фиг. [5]
При изготовлении триода создают в области эмиттера большую концентрацию акцепторов, а в базе - значительно меньшую концентрацию доноров. [6]
При изготовлении триодов ориентация [111] обеспечивает наибольшую величину усиления по току, так как переход в этом случае имеет наиболее плоскую форму. [7]
При изготовлении триодов ориентация 111 обеспечивает наибольшую величину усиления по току, гак как переход в этом случае имеет наиболее плоскую форму. [8]
При изготовлении триодов п-р - п типа высокое давление пара примесных элементов при температуре вплавления обусловливает некоторую диффузию их в полупроводник из паровой фазы. В этом случае при помощи предварительного травления снимают приповерхностный слой полупроводника с высокой проводимостью, который может образоваться. [9]
Исходным материалом для изготовления триода служит монокристалл германия с заданными объемными свойствами. [10]
Выбор материалов для изготовления триодов часто представляет собой сложную проблему. Например, хотя очевидно, что для легирования полупроводников следует применять элементы III и V групп периодической системы, но установить допустимое содержание примесей в индии очень трудно. [11]
 |
Схема технологического процесса изготовления сплавного диффузионного триода. [12] |
Например, при изготовлении триода на основе германия р-типа в эмиттерную навеску вводится сурьма, имеющая большой коэффициент диффузии, и индий, у которого коэффициент диффузии мал. При плавлении такой навески сурьма диффундирует из нее на довольно большую глубину, а индий-на малую. [13]
Свойства электродных материалов, применяемых для изготовления триодов, оказывают существенное влияние на их электрические характеристики. Так, например, примеси, содержащиеся в коллекторном и эмиттерном контактах, сильно сказываются на поведении приборов при формовке. [14]
Травление полупроводниковых материалов, применяемых для изготовления триодов, производится для устранения всех дефектов, возникших при механической обработке кристалла, и для удаления любых загрязнений, образовавшихся в процессе изготовления материала. [15]
Страницы: 1 2 3 4