Cтраница 2
Важно отметить существенное различие в составе остаточных газов на бедных и богатых смесях. Если при работе двигателя на бедных смесях остаточные продукты сгорания представляют собой только инертные газы, то при работе на богатых смесях остаточные газы содержат значительное количество углеводородов ( например, метана), водорода и активных соединений. [16]
На образование окислов большое влияние оказывает состав остаточных газов в рабочем объеме установки, особенно наличие паров воды. При высокотемпературном и длительном отжиге пленки в вакууме или в защитной ( инертной) атмосфере количество окисла возрастает и может возникнуть окисление пленки. [17]
При некоторых процессах бывает необходимо знать состав остаточных газов в вакуумной установке. Прибор, предназначенный для этой цели, должен давать возможность количественной оценки состава газов и быть приспособленным для непрерывной работы. Такой прибор был разработан и назван вакууманализатором. Было установлено, что с помощью этого прибора можно получить много полезных данных о природе газов и паров в вакуумной установке, но он не вполне применим для обычного течеискания. Модификацией этого прибора, разработанной специально для течеискания, является масс-спектромет-рический течеискатель. [18]
На ход диффузионной сварки существенно влияет парциальный состав остаточных газов в камере. Специальные меры ( азотные ловушки, использование безмасляных средств откачки) улучшают условия ведения диффузионной сварки, особенно при пониженных температурах. [19]
Большую опасность представляют пары НзО в составе остаточных газов. Они могут служить газом - переносчиком металла испарителя в состав осаждаемой диэлектрической пленки. Например, соприкасаясь с раскаленным вольфрамом, пары воды разлагаются с образованием летучей двуокиси вольфрама Юз и атомарного водорода. В осаждаемой пленке ( или в испарителе) WO2 может восстанавливаться водородом до металла с образованием вновь молекул воды. Образуется цикл окисление - возгонка-диссоциация, затухающий по мере откачки паров воды и водорода. [20]
Вакуумное оборудование установки должно обеспечить давление и состав остаточных газов, не оказывающих заметного влияния на результаты эксперимента. Наиболее подходящим для вакуумных установок, применяемых для термодинамических исследований, следует считать в настоящее время сорбционные охлаждаемые насосы и турбомолекулярные насосы со свободной подвеской ротора. [21]
На качество пленки при напылении сильно влияет состав остаточных газов конкретных компонентов. [22]
Химическая откачка раскаленной нитью катода сопровождается изменением состава остаточных газов в манометрическом преобразователе. [23]
В вакуумных системах с сорбционными и криогенными насосами состав остаточных газов в процессе откачки сильно обогащается инертными газами. Чувствительность термоэлектронного манометра к инертным газам значительно ниже, чем к азоту, и, следовательно, показания манометра в этом случае будут сильно преуменьшены. В области давлений ниже 10 - 6 мм рт. ст. при работе с паромасляными насосами, снабженными сорбционными ловушками, в области сверхвысокого вакуума основным остаточным газом является чаще всего водород, чувствительность по которому примерно в 2 раза ниже, чем по азоту. В вакуумных системах с парортутными насосами остаются главным образом пары воды, чувствительность по которым близка к чувствительности по воздуху, поэтому ошибка измерений будет невелика. [24]
Весьма желательным во многих случаях является также контроль состава остаточных газов среды, в которой проводятся измерения. [25]
После тщательного обезгажя-вания образца длительным прогревом в вакууме графики изменения состава остаточных газов были воспроизводимы. [27]
Однако на качество катодов влияет не только количество, но и состав остаточных газов. Наиболее часто отравление катода связано с наличием таких остаточных газов и паров, как О2, СО2, ЬЬО, СО, причем степень отравления хорошо активированного катода убывает в перечисленном ряду от О2 к СО. Сильное отравляющее действие на оксидный катод оказывают также галогены, сернистые газы и углеводороды. [28]
Таким образом, приведенные выше данные свидетельствуют о существенном влиянии давления и состава остаточных газов, а также способа испарения на структуру и, следовательно, прочность и пластичность пленок. Последний параметр осаждения играет наиболее значительную роль. [29]
![]() |
Коэффициенты трения скольжения.| Области применения жаропрочных и жаростойких сталей и сплавов в вакууме. [30] |