Состав - остаточный газ
Cтраница 5
Часто необходимо знать способность насоса откачивать не только воздух, но и другие газы и конденсирующиеся пары; устойчивость насоса к резким повышениям давления во входном и выходном сечениях и прорывам атмосферного воздуха; время, необходимое для запуска и остановки насоса; создаваемый насосом уровень загрязнений откачиваемого сосуда парами рабочей жидкости; состав остаточных газов. [61]
 |
Диаграммы растяжения пленок. [62] |
Для пленок меди, полученных в БМ-вакууме, дифракционные линии по ширине приближаются к эталонным. Следовательно, изменение состава остаточных газов приводит к существенному разупрочнению и росту пластичности, сопровождаясь уменьшением степени неравновесности структуры. Отметим, что при fn 200 C в связи с развитием рекристаллизации оба режима дают практически совпадающие результаты. Подобная тенденция наблюдается и для пленок никеля. [63]
Страницы: 1 2 3 4 5