Состав - остаточный газ
Cтраница 3
Вид термической обработки и характеристики обрабатываемого изделия в вакуумных печах определяют давление и состав остаточных газов, что соответственно влияет на свойства нагревательных элементов и металлических деталей печей. [31]
Преимущества разрывного цикла состоят в возможности визуального контроля точности совмещения слоев и стабилизации состава остаточных газов в вакуумной камере. [32]
 |
Схематическое изображение трохотрона. [33] |
В литературе [104-106] описано применение циклоидного масс-спектрометра, или трохотрона, для исследования состава остаточных газов в сверх-высоковакуумных системах. [34]
Предназначен для измерения парциальных давлений остаточных газов в вакуумных системах, для контроля состава остаточных газов в технологических процессах ( например, при напылении тонких пленок), для изучения работы различных откачивающих систем по отдельным газовым компонентам, а также для работы в качестве детектора молекулярных и атомарных пучков. [35]
Наблюдаемое различие параметра еи может быть связано с охрупчивающим влиянием углеводородов, находящихся в составе остаточных газов. [36]
Как уже отмечалось, при изготовлении пленок термическим испарением большое влияние на свойства пленок оказывает состав остаточных газов в вакуумной камере. [37]
 |
Разъемные вакуумно-плотные фланцевые соединения с металлической прокладкой. [38] |
Применение витона в качества прокладочного материала позволяет прогревать вакуумные установки до 200 С, при этом состав остаточного газа улучшается. Однако прогревать установку до 400 - 450 С нельзя, и тогда следует переходить к металлическим прокладкам. [39]
Масляные манометры не рекомендуется применять в тех случаях, когда в откачиваемом объеме требуется обеспечить постоянство состава остаточных газов или необходимо измерять давление легко растворяющихся газов. Для избежания значительной растворимости остаточных газов в масляных манометрах часто приходится повышать их рабочую температуру или периодически производить обезгаживание масла в процессе работы. [40]
 |
Марки и химический состав ( в процентах металлического хрома. [41] |
В зависимости от толщлны пленки и условий ее осаждения ( скорость осаждения, температура подложки, давление и состав остаточных газов в камере) р и оц пленок хрома может изменяться в довольно широких пределах. [42]
В зависимости от толщины пленки и условий ее осаждения ( скорости осаждения, температуры подложки, давления и состава остаточных газов в камере) р и ар пленок хрома может изменяться в довольно широких пределах. [43]
 |
Зависимость времени травления от времени отжига пленки. [44] |
Уменьшение времени травления с увеличением скорости конденсации пленки может быть объяснено меньшим влиянием различного рода примесей, захваченных из состава остаточных газов в рабочей камере установки в процессе напыления. С ростом времени напыления возрастает количество газов, сорбированных материалом пленки, что ведет к неравномерности ее структуры и увеличению времени травления. [45]
Страницы: 1 2 3 4 5